WO2003016976A3 - Vorrichtung zur justage eines optischen elements - Google Patents

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Abstract

Eine Vorrichtung dient zur Justage eines optischen Elements (1), insbesondere einer Linse in einem optischen System, insbesondere in einem Projektionsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie. Das optische Element (1) ist über mehrere über den Umfang des optischen Elements (1) verteilte Auflagefüsschen (2) in einer Fassung (3) gelagert und durch Stelleinrichtungen (5) gezielt deformierbar. An wenigstens einem Teil der Auflagefüsschen (2) greifen in einem Bereich des Auflagefüsschens (2) die Stel1einrichtungen (5) in der Art an, dass das jeweilige Auflagefüsschen (2) in Richtung der optischen Achse (7) verschiebbar ist.
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