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Patents

  1. Advanced Patent Search
Publication numberEP1846782 A1
Publication typeApplication
Application numberEP20060706693
PCT numberPCT/EP2006/001039
Publication date24 Oct 2007
Filing date7 Feb 2006
Priority date9 Feb 2005
Also published asDE102005005933A1, US7929218, US20080310031, WO2006084653A1
Publication number06706693, 06706693.6, 2006706693, EP 1846782 A1, EP 1846782A1, EP-A1-1846782, EP06706693, EP1846782 A1, EP1846782A1, EP20060706693, PCT/2006/1039, PCT/EP/2006/001039, PCT/EP/2006/01039, PCT/EP/6/001039, PCT/EP/6/01039, PCT/EP2006/001039, PCT/EP2006/01039, PCT/EP2006001039, PCT/EP200601039, PCT/EP6/001039, PCT/EP6/01039, PCT/EP6001039, PCT/EP601039
InventorsThomas Mohr, Manfred Dick, Jürgen Kühnert
ApplicantCarl Zeiss Meditec AG
Export CitationBiBTeX, EndNote, RefMan
External Links: Espacenet, EP Register
Variable lens
EP 1846782 A1 (text from WO2006084653A1) 
Abstract  
The invention relates to a variable lens for controlling electromagnetic radiation that interacts with said lens in a controlled manner. The lens comprises: a container (1); a first dielectric fluid (91) that is held in the container; a second dielectric fluid (92) that is held in the container, a phase boundary layer (11) being configured between the first and the second fluid and a relative dielectric constant of the first fluid being different from a relative dielectric constant of the second fluid; at least one first electrode (15); and at least one second electrode (17), which is positioned in relation to the first electrode in such a way that an electric current that is applied between the first and the second electrode generates an electric field, which infiltrates the phase boundary layer (11).
Claims  translated from German  (OCR text may contain errors)
Patentansprüche claims
1. Variable Optik zum steuerbaren Beeinflussen von mit der Optik wechselwirkender elektromagnetischer Strahlung, wobei die Optik umfaßt : 1. Variable optics for controllably influencing of interacting with the optical electromagnetic radiation, wherein the optic comprises:
einen Behälter, a container,
ein in dem Behälter aufgenommenes dielektrisches erstes Fluid, a picked-up in the container dielectric first fluid,
ein in dem Behälter aufgenommenes dielektrisches zweites Fluid, wobei zwischen dem ersten und dem zweiten Fluid eine Phasengrenzfläche ausgebildet ist und wobei eine Dielektrizitätszahl des ersten Fluids von einer Dielektrizitätszahl des zweiten Fluids ver- schieden ist, a picked-up in the container dielectric second fluid, wherein a phase interface is formed between the first and the second fluid and wherein a dielectric constant of the first fluid from a dielectric constant of the second fluid is comparable eliminated,
wenigstens eine erste Elektrode, at least a first electrode,
wenigstens eine zweite Elektrode, welche relativ zu der ersten Elektrode derart angeordnet ist, daß eine zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angelegte elektrische Spannung ein elektrisches Feld erzeugt , welches die Phasengrenzfläche durchsetzt . at least one second electrode which is disposed relative to the first electrode so that a voltage applied between the first electrode and the second voltage generates an electric field that passes through the phase interface.
2. Variable Optik nach Anspruch 1, wobei für 2. Variable optical system according to claim 1, wherein for
Δε = 2 * I εl - ε2 I / (sl + s2) Δε = 2 * I εl - ε2 I / (sl + s2)
gilt : Δε > 0 , 1, where: Δε> 0, 1,
wobei Sl die Dielektrizitätszahl des ersten Fluids repräsentiert , wherein Sl represents the dielectric constant of the first fluid,
ε2 die Dielektrizitätszahl des zweiten. ε2 the dielectric constant of the second. Fluids repräsentiert , Represents fluid,
Δε einen relativen Unterschied zwischen den Dielektrizitätszahlen des ersten und des zweiten Fluids repräsentiert . Δε represents a difference between the relative dielectric constants of the first and second fluid. ■ • ' ■ • '
3. Variable Optik nach Anspruch 2 , wobei gilt : Δε > 0 , 3 , insbesondere Δε > 0 , 5 , bevorzugt Δε > 0 , 7, besonders bevorzugt Δε > 0, 9. 3. Variable optical system according to claim 2, wherein: Δε> 0, 3, in particular, Δε> 0, 5, preferably Δε> 0, 7, more preferably Δε> 0. 9
4. Variable Optik zum steuerbaren Beeinflussen von mit der Optik wechselwirkender elektromagnetischer Strahlung, wobei die Optik umfaßt : 4. Variable optics for controllably influencing of interacting with the optical electromagnetic radiation, wherein the optic comprises:
einen Behälter, a container,
ein in dem Behälter aufgenommenes dielektrisches erstes Fluid, a picked-up in the container dielectric first fluid,
ein in dem Behälter aufgenommenes elektrisch leit- fähiges zweites Fluid, wobei zwischen dem ersten und dem zweiten Fluid eine Phasengrenzfläche ausgebildet ist, a picked-up in the container electrically conduc- enabled second fluid, wherein a phase interface is formed between the first and the second fluid,
wenigstens eine erste Elektrode, at least a first electrode,
wenigstens eine zweite Elektrode, welche relativ zu der ersten Elektrode derart angeordnet ist, daß eine zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angelegte elektrische Spannung ein elektrisches Feld er- zeugt , welches das erste Fluid durchsetzt, wobei der Behälter- einen ersten Wandbereich -umfaßt , an dem die wenigstens eine erste Elektrode angeordnet ist, at least one second electrode which is disposed relative to the first electrode such that a voltage applied between the first electrode and the second electrical voltage creates an electrical field ER, which penetrates the first fluid, wherein the container -umfaßt a first wall portion, at which a first electrode is arranged at least
wobei die Phasengrenzfläche an einem von dem ersten Wandbereich verschiedenen zweiten Wandbereich anliegt, und wherein the phase boundary is present at an angle different from the first wall portion second wall portion, and
wobei an sämtlichen Orten, wo die Phasengrenzfläche an dem zweiten Wandbereich anliegt, dieser sich unter einem Winkel von mehr als 40° bezüglich dem ersten Wandbereich erstreckt . wherein it extends at all places where the phase boundary surface abuts the second wall portion at an angle of more than 40 ° with respect to the first wall portion.
5. Variable Optik zum steuerbaren Beeinflussen von mit der Optik wechselwirkender elektromagnetischer Strahlung, wobei die Optik umfaßt : 5. Variable optics for controllably influencing of interacting with the optical electromagnetic radiation, wherein the optic comprises:
einen Behälter, a container,
ein in dem Behälter aufgenommenes dielektrisches erstes Fluid, a picked-up in the container dielectric first fluid,
ein in dem Behälter aufgenommenes elektrisch leit- fähiges zweites Fluid, wobei zwischen dem ersten und dem zweiten Fluid eine Phasengrenzfläche ausgebildet ist , a picked-up in the container electrically conduc- enabled second fluid, wherein a phase interface is formed between the first and the second fluid,
wenigstens eine erste Elektrode, at least a first electrode,
wenigstens eine zweite Elektrode, welche relativ zu der ersten Elektrode derart angeordnet ist, daß eine zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angelegte elektrische Spannung ein elektrisches Feld erzeugt , welches das erste Fluid durchsetzt, wobei der Behälter wenigstens einen für die elektromagnetische Strahlung transparenten Wandbereich umfaßt , at least one second electrode which is disposed relative to the first electrode so that a voltage applied between the first and the second electrode electrical voltage generates an electric field which penetrates the first fluid, wherein the container comprises at least one transparent for the electromagnetic radiation wall portion .
wobei die wenigstens eine erste Elektrode an dem transparenten Wandbereich angeordnet ist . wherein a first electrode on the transparent wall portion is disposed at least.
6. Variable Optik nach Anspruch 5 , wobei die Phasengrenzfläche an einem von dem ersten Wandbereich verschiedenen- zweiten Wandbereich anliegt . 6. Variable optical system according to claim 5, wherein the phase boundary is present at one of the first wall portion verschiedenen- second wall portion.
7. Variable Optik zum steuerbaren Beeinflussen von mit der Optik wechselwirkender elektromagnetischer Strahlung, wobei die Optik umfaßt : 7. Variable optics for controllably influencing of interacting with the optical electromagnetic radiation, wherein the optic comprises:
einen Behälter, a container,
ein in dem Behälter aufgenommenes dielektrisches erstes Fluid, a picked-up in the container dielectric first fluid,
ein in dem Behälter aufgenommenes reflektives, insbesondere metallisches zweites Fluid, wobei zwischen dem ersten und dem zweiten Fluid . a picked-up in the container reflective particles, especially metallic second fluid, wherein between the first and the second fluid. eine Phasengrenzfläche ausgebildet ist, a phase boundary surface is formed,
wenigstens eine erste Elektrode, at least a first electrode,
wenigstens eine zweite Elektrode, welche relativ zu der ersten Elektrode derart angeordnet ist, daß eine zwischen der ersten und der zweiten Elektrode angelegte elektrische Spannung ein elektrisches Feld erzeugt, welches das erste Fluid durchsetzt . at least one second electrode which is disposed relative to the first electrode so that a voltage applied between the first electrode and the second voltage generates an electric field which penetrates the first fluid.
8. Variable Optik nach, einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei für 8. Variable optical system according, to any one of claims 1 to 7, wherein for
Δn = 2 * I nl - n2 j / (nl + n2) .DELTA.n = 2 * I nl - n2 j / (nl + n2)
gilt : Δn > 0 , 01, applies: .DELTA.n> 0, 01,
wobei in which
nl ' die Brechzahl des ersten Fluids repräsentiert, nl 'is the refractive index of the first fluid represents
n2 die Brechzahl des zweiten Fluids repräsentiert, n2 is the refractive index of the second fluid represents
Δn einen relativen Unterschied zwischen den Brechzahlen des ersten und des zweiten Fluids repräsen- tiert . .DELTA.n a relative difference between the refractive indices of the first and second fluid repre- sents.
9. Variable Optik nach Anspruch 8, wobei gilt : Δn > 0, 03 , insbesondere Δn > 0 , 06, insbesondere Δn > 0 , 1. 9. Variable optical system according to claim 8, wherein: .DELTA.n> 0, 03, in particular .DELTA.n> 0, 06, and especially .DELTA.n> 0. 1
10. Variable Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 9 , wobei die wenigstens eine erste Elektrode für die elektromagnetische Strahlung transparent ist . 10. Variable optical system according to one of claims 1 to 9, wherein a first electrode for the electromagnetic radiation is at least transparent.
11. Variable Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 10 , wo- bei das erste Fluid oder/und das zweite Fluid eine 11. Variable optical system according to any one of claims 1 to 10, WO at the first fluid and / or the second fluid is a
Flüssigkeit ist . Liquid.
12. Variable Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei für 12. Variable optical system according to one of claims 1 to 11, wherein for
Δd = 2 * I dl - d2 I / (dl + d2) .DELTA.d = 2 * I dl - d2 I / (dl + d2)
gilt : Δd < 0 , 1, applies: .DELTA.d <0, 1,
wobei Δd einen relativen Dichteunterschied, zwischen dem ersten und dem zweiten Fluid repräsentiert , wherein .DELTA.d represents a relative difference in density between the first and the second fluid,
dl eine Dichte des ersten Fluids- repräsentiert und dl represents a density of the first and Fluids-
d2 eine Dichte des zweiten Fluids repräsentiert . d2 represents a density of the second fluid.
13. Variable Optik nach Anspruch 12 , wobei gilt : Δd < 0 , 03 , insbesondere Δd < 0 , 01 , insbesondere Δd < 0 , 003. 13. Variable optical system according to claim 12, wherein: .DELTA.d <0, 03, in particular .DELTA.d <0, 01, in particular .DELTA.d <0, 003.
14. Variable Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 13 , wobei die erste Elektrode und die zweite Elektrode an einander gegenüberliegenden Seiten ' des Behälters angeordnet sind. 14. Variable optical system according to any one of claims 1 to 13, wherein the first electrode and the second electrode are arranged on opposite sides' of the container.
15. Variable Optik einem der Ansprüche 1 bis 14 , wobei die Phasengrenzfläche zwischen der ersten Elektrode und der zweiten Elektrode angeordnet ist . 15. Variable optics any one of claims 1 to 14, wherein the phase boundary between the first electrode and the second electrode is arranged.
16. ' Variable Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 15 , wobei eine Innenwand des Behälters einen ersten Oberflächenbereich aufweist , welcher für das erste Fluid eine größere Adhäsion aufweist als für das zweite Fluid, und wobei die Innenwand des Behälters einen zweiten Oberflächenbereich aufweist, welcher für das erste Fluid eine kleinere Adhäsion aufweist als für das zweite Fluid . 16 'Variable optical system according to any one of claims 1 to 15, wherein an inner wall of the container having a first surface area which has a greater adhesion for the first fluid than for the second fluid, and wherein the inner wall of the container has a second surface area, having as for the second fluid for the first fluid, a smaller adhesion.
17. Variable Optik nach Anspruch 16, wobei der erste Ober- flächenbereich und der zweite Oberflächenbereich aneinander angrenzen, und die Phasengrenzfläche an wenigstens einem Teil einer Grenzlinie zwischen dem ersten und dem zweiten Oberflächenbereich anliegt . 17. Variable optical system according to claim 16, wherein the first surface area and second surface area adjacent to each other, and the phase boundary surface on at least part of a boundary line between the first and the second surface area is present.
18. Variable Optik nach Anspruch 17 , wobei die Grenzlinie ringförmig geschlossen ist und die Phasengrenzfläche an der Grenzlinie über deren ganzen Umfang anliegt . 18. Variable optical system according to claim 17, wherein the boundary line is annularly closed and abuts the phase boundary surface to the boundary line over its entire circumference.
19. Variable Optik nach einem der Ansprüche 16 bis 18 , wobei der Behälter eine erste Wand, eine der ersten Wand gegenüber liegende zweite Wand und einer zwischen der ersten Wand und der zweiten Wand such erstreckende Um- fangswand umfaßt , und wobei der erste Oberflachen- bereich an der ersten Wand bereitgestellt ist und der zweite Oberflächenbereich an der Umfangswand bereitgestellt . 19. Variable optical system according to any one of claims 16 to 18, said container having a first wall, a first wall of the opposite second wall, and a includes between the first wall and the second wall examined extending circumferential wall, and wherein the first Oberflachen- area is provided at the first wall and the second surface area provided on the peripheral wall.
20. Variable Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 19 , wo- bei die erste Elektrode eine Mehrzahl von Teilelektroden umfaßt, welche durch isolierende Zwischenräume voneinander separiert sind. 20. Variable optical system according to any one of claims 1 to 19, WO at the first electrode comprises a plurality of partial electrodes comprises, which are separated from one another by insulating spaces.
21. Variable Optik nach Anspruch 20 , ferner umfassend wenigstens eine Spannungsquelle zum Einstellen von elektrischen Potentialen der Mehrzahl von Teilelektroden. 21. Variable optical system according to claim 20, further comprising at least one voltage source for setting the electrical potentials of the plurality of partial electrodes.
22. Variable Optik nach Anspruch 21, wobei die Spannungs- quelle ein Widerstandnetzwerk umfaßt . 22. Variable optical system according to claim 21, wherein the voltage source comprises a resistor network.
23. Variable Optik nach einem der Ansprüche 20 bis 22 , wobei der Behälter einen ersten Wandbereich, einen dem ersten Wandbereich gegenüber liegenden zweiten Wand- bereich und einen zwischen dem ersten Wandbereich und dem zweiten Wandbereich sich_, erstreckenden Umfangs- wandbereich umfaßt, und wobei die erste Elektrode an dem ersten Wandbereich bereitgestellt ist und die zweite Elektrode an dem zweiten Wandbereich bereitge- stellt ist . 23. Variable optical system according to one of claims 20 to 22, wherein the container comprises a first wall area, the first wall portion opposite the second wall portion and a THEMSELVES_ between the first wall portion and the second wall portion comprises extending the circumferential wall portion, and wherein the first electrode is provided at the first wall portion and the second electrode is provided on the second wall portion.
24. Variable Optik nach. 24. Variable optics for. Anspruch 23 , wobei an dem Umfangs- wandbereich eine dritte Elektrode bereitgestellt ist . Claim 23, wherein the circumferential wall portion at a third electrode is provided.
25. Variable Optik nach einem der Ansprüche 1 bis 24 , wo- bei der Behälter wenigstens einen für die elektromagnetische Strahlung transparenten Wandbereich umfaßt . 25. Variable optical system according to any one of claims 1 to 24, WO comprises a transparent wall region for the electromagnetic radiation in at least the container.
26. Variable - Optik nach Anspruch 25 , wobei der Behälter wenigstens einen ersten und einen zweiten für die elektromagnetische Strahlung transparenten Wandbereich umfaßt, und wobei die Phasengrenzfläche zwischen dem ersten für die Strahlung transparenten Wandbereich und dem zweiten für die Strahlung transparenten Wand- bereich angeordnet ist . 26. Variable - Optics the phase boundary surface between the first transparent to the radiation wall portion and the second transparent for the radiation wall portion is arranged according to claim 25, wherein the container has at least a first and a second transparent for the electromagnetic radiation wall portion, and wherein ,
27. Variable Optik nach Anspruch 26 , wobei die mit der Optik wechselwirkende elektromagnetische Strahlung den ersten und den zweiten Wandbereich und die Phasen- grenzflache durchsetzt . 27. Variable optical system according to claim 26, wherein the interacting with the optical electromagnetic radiation passes through the first and the second wall portion and the phase boundary surface.
28. Variable Optik nach Anspruch 25 , wobei der Behälter wenigstens einen ersten und einen zweiten für die elektromagnetische Strahlung transparenten Wandbereich umfaßt , welche auf einer gleichen Seite der Phasengrenzfläche angeordnet sind. 28. Variable optical system according to claim 25, wherein the container comprises at least a first and a second transparent wall region for the electromagnetic radiation which are arranged on a same side of the phase interface.
29. Variable Optik nach Anspruch 28 , wobei die mit der Optik wechselwirkende elektromagnetische Strahlung den ersten und den zweiten Wandbereich durchsetzt und von der Phasengrenzfläche reflektiert wird. 29. Variable optical system according to claim 28, wherein the interacting with the optical electromagnetic radiation passes through the first and the second wall region and is reflected by the phase interface.
30. Variable Optik nach Anspruch 25, wobei die mit der Optik wechselwirkende elektromagnetische Strahlung den wenigstens einen transparenten Wandbereich durchsetzt, von der Phasengrenzfläche reflektiert wird und dann den wenigstens einen transparenten Wandbereich erneut durchsetzt . 30. Variable optical system according to claim 25, wherein the interacting with the optics of the electromagnetic radiation passes through at least one transparent wall portion, is reflected from the phase boundary surface, and then passes through the at least one transparent wall region again.
31. Variable Optik nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und/oder zweite transparente Wandbereich ein transparentes Elektrodenarray besitzt, mit dem es gelingt , die ebene oder quasisphärische Oberfläche der variablen Optik rαikrostrukturiert auszuformen. 31. Variable optical system according to one of the preceding claims, characterized in that the first and / or second transparent wall region having a transparent electrode array, with which it is possible, the planar or quasi-spherical surface of the variable lens rαikrostrukturiert to mold.
Description  translated from German  (OCR text may contain errors)

Variable Optik variable lens

Die vorliegende Erfindung betrifft eine variable Optik, und insbesondere eine Optik, deren Wechselwirkungseigenschaften mit elektromagnetischer Strahlung (zum Beispiel Licht inklusive IR- und/oder UV-Licht) elektrisch beeinflußbar sind. The present invention relates to a variable lens, and particularly to an optical system whose properties are electrically influenced interaction with electromagnetic radiation (such as light, including IR and / or UV light). Die Erfindung betrifft besonders eine variable Optik zum steuerbaren Beeinflussen der mit der Optik Wechsel- wirkenden Strahlung. The invention particularly relates to a variable lens for controllably influencing the acting with the optics AC radiation.

Aus der abbildenden Optik ist bekannt , daß die monochromatische •Bildqualität durch Aberrationen höherer Ordnung negativ beeinflußt wird. From the imaging optics is known that the monochromatic • Image quality is negatively affected by higher-order aberrations. Um diese zu beseitigen oder zu unterdrücken ist . is to eliminate it or to suppress. die Herstellung asphärischer Linsen oder Reflexionsoptiken bekannt geworden. the production of aspheric lenses or reflective optics become known. Mit monolithischen Phasenplatten kann man ebenfalls fixe Aberrationen kompensieren, um die Abbildungsgüte zu verbessern . With monolithic phase plates can also compensate fixed aberrations to improve the image quality.

Es sind variable Optiken bekannt, deren Variabilität auf einer Abstandsänderung zwischen zwei optischen Elementen beruht, solche, bei denen die Variabilität auf einer Änderung eines Brechungsindex beruht, und solche, bei denen die Variabilität auf einer Änderung einer Flächenkrümmung beruht . There are known optical variable whose variability based on a change in distance between two optical elements, those in which the variability due to a change of a refractive index, and those in which the variability is due to a change in surface curvature. Unter den letzteren sind in neuerer Zeit besonders ' solche auf den Markt gelangt , bei denen die Änderung der Flächenkrümmung dadurch erreicht wird, daß der Kontakt- winkel einer Flüssigkeit zu einer Oberfläche durch Anlegen einer elektrischen Spannung beeinflußt wird. Among the latter, particularly 'are those entering the market in recent times, in which the change of the surface curvature is obtained in that the contact angle of a liquid to a surface is influenced by applying an electrical voltage. Eine solche Vorrichtung wird in der übersetzten europäischen Patentschrift DE 698 04 119 T2 beschrieben, deren Offenbarung hiermit durch Inbezugnahme vollumfänglich einbezogen ist . Such a device is described in the translated European patent specification DE 698 04 119 T2, the disclosure of which is hereby fully incorporated by reference. Bei bekannten variablen Optiken ist man lediglich in der In known variable optical one is only in the

Lage die dioptrische Brechkraft in großen Bereichen variabel nachzustellen (höhere Aberrationen können gemäß Stand der Technik momentan nur mit kleinen Amplituden < Able adjust the dioptric power in large areas of variable (higher aberrations of the prior art currently only small amplitudes <

10 μm zum Beispiel mit adaptiven Spiegeln oder adaptiven 10 microns, for example, adaptive or adaptive mirrors

Flüssigkristalloptiken dynamisch korrigiert werden) . be corrected liquid crystal optics dynamic). Die gleichzeitige Korrektur der dioptrischen Brechkraft im The simultaneous correction of the dioptric power in

Bereich bis 20 D und beliebiger höherer Aberrationen mit einem optischen Element ist bisher nicht bekannt . Range up to 20 D and any higher aberrations with an optical element is not yet known.

Es hat sich herausgestellt , daß die bekannten Vorrichtungen solcher Art in zweierlei Hinsicht unzureichend sind: Einerseits erlauben sie lediglich die Beeinflussung der dioptrischen Brechkraft, was für viele Anwendungen nicht ausreicht ; It has been found that such known devices are inadequate in two ways: on the one hand, they allow only the influence of the dioptric power, which is insufficient for many applications; andererseits genügt die Qualität der optischen Wirkung einer solchen Anordnung vielen Anforderungen nicht . On the other hand, the quality of the optical effect of such an arrangement is not sufficient many requirements.

Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine variable Optik bereitzustellen, die vielfältiger oder/und genauer steuerbar ist . It is therefore an object of the present invention to provide a variable lens, the manifold and / or is more accurate to control.

Dazu schlägt die Erfindung eine variable, insbesondere membranlose Optik gemäß den unabhängigen Ansprüchen vor. For this, the invention proposes a variable, in particular lens without a membrane according to the independent claims.

Intrinsische Ursache für die unzureichende Funktion bekannter variabler Optiken sind vor allem Schwerkraft- und temperaturabhängige Einflüsse . Intrinsic reason for the inadequate function of known variable lenses is above all, gravity and temperature factors.

Fehler in der Form der Grenzfläche, die Schwerkraft und temperaturabhängig sind, lassen sich erfindungsgemäß durch eine Korrektur ausgleichen, indem ein bestimmtes Korrektur - Potential - Profil an die einzelnen Elektroden angelegt wird . Error in the shape of the interface, the force of gravity and are temperature-dependent, can be compensated by a correction, according to the invention by a specific correction - potential - is applied to the individual electrodes profile. Das Korrekturprofil läßt sich dabei individuell und dynamisch einstellen. The correction profile can thereby be adjusted individually and dynamically. Mehrere Korrekturprofile können abgespeichert und einer bestimmten Applikation zugeordnet werden . More correction profiles can be stored and associated with a particular application.

Unter einem ersten Aspekt weist eine erfindungsgemäße variable Optik einen Behälter mit zwei darin aufgenommenen dielektrischen Fluiden auf, zwischen denen sich eine Phasengrenzfläche ausbildet . In a first aspect, a variable lens according to the invention to a container having received therein two dielectric fluids, between which a phase boundary forming. Ferner weist die Optik wenigstens zwei Elektroden zum Anlegen einer Spannung daran auf, so daß ein elektrischen Feld aufgebaut wird, das die Phasengrenzfläche durchsetzt . Further, the optics at least two electrodes for applying a voltage thereto, so that an electric field is set up which passes through the phase interface.

Durch eine Lageyeränderung der Grenzfläche auf Grund der eingestellten Spannung verändern sich in gezielter . By Lageyeränderung the interface due to the set voltage change in targeted. Weise die Eigenschaften der Optik . As the properties of the optics. Je nach der Geometrie des Be- hälters oder/und der Elektroden wird ■ dadurch eine Asphärizität der Grenzfläche bereitgestellt oder eine bestehende Asphärizität reduziert oder beseitigt . Depending on the geometry of the loading hälters or / and the electrode ■ is thereby provided an asphericity of the interface or reduce an existing asphericity or eliminated.

Unter einem zweiten Aspekt der Erfindung enthält der Behälter ein leitfähiges und ein dielektrisches Fluid, die zwischen sich eine Phasengrenzfläche ausbilden, die den. According to a second aspect of the invention, the container containing a conductive and a dielectric fluid forming a phase boundary between them that the. Behälter entlang eines Wandbereichs berührt . affect container along a wall portion. Ferner weist die Optik wenigstens zwei Elektroden zum Anlegen einer Spannung daran auf, von denen eine Elektrode in einem anderen, zu dem genannten Wandbereich gewinkelt angeordneten Wandbereich angeordnet ist . Further, the optics at least two electrodes for applying a voltage thereto, of which one electrode is arranged in a different, angled arranged to said wall portion wall portion.

Unter einem dritten Aspekt der Erfindung enthält der Behälter ein leitfähiges und ein dielektrisches Fluid, die zwischen sich eine Phasengrenzfläche ausbilden. In a third aspect of the invention, the container containing a conductive and a dielectric fluid forming a phase boundary between them. Ferner weist die Optik wenigstens zwei Elektroden zum Anlegen einer Spannung daran auf, von denen eine Elektrode in einem transparenten Wandbereich angeordnet ist . Further, the optics at least two electrodes for applying a voltage thereto, of which one electrode is arranged in a transparent wall portion. Urxter einem weiteren Aspekt der Erfindung ist eines der Fluide reflektiv, insbesondere eine metallische Flüssigkeit . Urxter a further aspect of the invention, one of the fluids is reflective, in particular a metallic liquid.

Die Funktionsweise der Erfindung kann so erklärt werden, daß sich durch Anlegen einer Spannung an die Elektroden in dem dielektrischen Fluid ein inhomogenes elektrisches Feld ausbildet, das eine Kraft auf dieses Fluid ausübt . The operation of the invention can be explained so that is formed by applying a voltage to the electrodes in the dielectric fluid, an inhomogeneous electric field, which exerts a force on said fluid. Die Grenzfläche verändert daraufhin ihre Lage so, daß die auf das Fluid ausgeübte Kraft durch eine durch die Oberflächenspannung der Grenzfläche bereitgestellte Gegenkraft kompensiert wird. then the interface changes its position so that the force applied to the fluid is compensated by a provided by the surface tension of the interface counterforce.

Um zum Beispiel Beschleunigungs- und Lageeinflüsse zu ver- ringern, können als Fluide Flüssigkeiten mit ähnlicher oder gleicher Dichte vorgesehen sein. In order to wrestlers comparable, for example, acceleration and location influences, as fluids liquids with similar or the same density can be provided.

Einander gegenüberliegende Wandbereiche ' des Behälters können transparente Bereiche aufweisen-, durch die ein Strahlengang geführt werden kann. Opposed wall portions' of the container can aufweisen- transparent areas, can be guided through an optical path. Dieser Strahlengang kann die Grenzfläche durchsetzen und/oder an ihr reflektiert werden, wobei die (Haupt-) Krümmungen der Grenzfläche durch die angelegten Spannungen beeinflußbar sind. This optical path can pass through the interface and / or are reflected in it, wherein the (main) curvatures of the interface can be influenced by the applied voltages.

Der Strahlengang kann aber auch durch das eine Fluid begrenzt sein, indem dieses Fluid teilweise oder weitgehend intransparent ist . However, the beam path may also be limited by the fluid by that fluid is partially or largely non-transparent. In diesem Fall steht das andere, transparente Fluid mit den einander gegenüberliegenden Wandbereichen des Behälters in Kontakt, wobei das intransparente Fluid wenigstens einen der Kontaktbereiche umgibt . In this case, it is the other, transparent fluid to the opposite wall portions of the container in contact with the non-transparent fluid surrounding at least one of the contact areas. Die Strahlbegrenzung wird dabei hinsichtlich Form oder/und Größe durch eine an die Elektroden angelegte Spannung beeinflußt . The beam limiting is influenced by a voltage applied to the electrodes in terms of shape and / or size.

In ähnlicher Weise können die beiden Fluide unterschiedliche spektrale Transmissionen aufweisen. Similarly, the two fluids can have different spectral transmittances. In einem solchen Fall weist das zentrale Strahlenbündel, das nur eines der Fluide durchsetzt, bei Austritt aus dem Behälter eine andere SpektralVerteilung auf als ein zirkumferen- tiales oder peripheres Strahlenbündel, das beide Fluide durchsetzt . In such a case, the central beam which passes through only one of the fluids, upon exit from the container other than a spectral zirkumferen- tiales or peripheral beam which passes through both fluids. Letzteres hat also eine andere Farbe als das zentrale Strahlenbündel , und ist hinsichtlich seines Anteils an der Durchtrittsfläche durch die angelegte Spannung steuerbar . Thus the latter has a color other than the central beam and is controllable in terms of its proportion of the passage area by the applied voltage.

Insoweit die Grenzfläche reflektiv ist , kann ein durch eine Umfangswand des Behälters einfallender Lichtstrahl nach (Total-) Reflektion an der Grenzfläche durch einen gegenüberliegenden Teil der umfangswand wieder austreten. In that regard, the interface is reflective, an incident light beam according to (total-) by a peripheral wall of the container to escape from the reflection at the interface by an opposite part of the peripheral wall. Hierbei wird der Ort oder/und der Winkel des Lichtaustritts durch Anlegen einer Spannung an die Elektroden beeinflußt . Here, the place and / or the angle of the light output is affected by applying a voltage to the electrodes.

Der Behälter kann in einem parallelen Strahlengang angeordnet sein, wobei ein von einer Lichtquelle ausgehender divergenter Lichtstrahl durch eine Kollimatoroptik kollimiert wird. The container may be arranged in a parallel beam path, wherein an outgoing from a light source divergent light beam is collimated by collimating optics. In einem Abstand von der Grenzfläche, der der reziproken Brechkraft der Grenzfläche entspricht, resultiert dabei eine durch die an die Elektroden angelegte Spannung beeinflußbare Intensitätsverteilung des die Kammer durchsetzenden Lichts . At a distance from the interface that corresponds to the reciprocal power of the interface, thereby resulting in a influenced by the applied voltage to the electrodes intensity distribution of the light passing through the chamber.

Der Behälter kann auch zwischen einem Spalt, durch den zu analysierende Strahlung hindurchtritt, und einem für diese Strahlung empfindlichen Detektor angeordnet sein. The container may also be arranged between a gap, passes through the radiation to be analyzed, and a sensitive to this radiation detector. In Folge der wellenlängenabhängigen Lichtbrechung an der Grenzfläche wird der von dem Detektor registrierte Spektralbereich der zu analysierenden " Strahlung variiert . As a result of the wavelength dependent refraction of light at the interface of the registered by the detector is the spectral range to be analyzed, the "varies radiation.

Der Behälter kann auch in einem kollimierten Strahlengang in der Weise angeordnet sein, daß ein den Behälter durch- setzender Lichtstrahl von der Grenzfläche in eine durch das Anlegen einer Spannung an die Elektroden wählbaren Richtung geführt wird. The container may also be arranged in a collimated beam path in such a way that a container throughput translated beam of light from the interface to a selectable by the application of a voltage to the electrode direction is guided.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Aspekte der Er- findung sind in den abhängigen Ansprüchen und den folgenden Beispielen an Hand der Figuren beschrieben . Further advantageous embodiments and aspects of the inven- tion are described in the dependent claims and the following examples, with reference to FIGS. Hierbei zeigt Here shows

Figur 1 eine erfindungsgemäße variable Optik mit zwei Dielektrika, 1 shows an inventive variable lens with two dielectrics

Figur 2 eine erfindungsgemäße variable Optik mit zwei Dielektrika und Elektroden im Deckel- und Bodenbereich, 2 shows an inventive variable lens with two dielectrics and electrodes in the top and bottom area,

Figur 3 eine variable Optik gemäß der ersten Ausführungsform mit zwei Dielektrika und einer Elektrode ' an der Umfangswand, 3 shows a variable lens according to the first embodiment with two dielectrics and an electrode 'on the circumferential wall,

Figur 4 eine variable Optik gemäß einer zweiten Aus- führungsform mit einer leitfähigen Flüssigkeit und 4 shows a variable lens according to a second exemplary form with a conductive liquid and

Elektroden im Deckel- und im Bodenbereich, Electrodes in the top and in the bottom region,

Figur 5 eine variable Optik mit einer direkt kontaktierten metallischen Flüssigkeit und einer Elektrode im Deckelbereich, 5 shows a variable lens with a directly contacted metallic liquid and an electrode in the cover region,

Figur 6 eine weitere variable Optik mit einer total reflektierenden Grenzfläche, 6 shows a further variable lens with a totally reflecting interface,

Figur 7 eine variable Optik gemäß der dritten Ausführungsform mit einer direkt kontaktierten leitfähigen Flüssigkeit und einer Elektrode im Deckelbereich, 7 shows a variable lens according to the third embodiment with a directly contacted conductive liquid and an electrode in the cover region,

Figur 8 eine andere variable Optik gemäß der dritten Aus- führungsform mit einer direkt kontaktierten leit- fähigen Flüssigkeit und einer Elektrode an der Um- fangswand, Figure 8 is a peripheral wall other variable lens according to the third exemplary form with a directly contacted conductivity capable liquid and an electrode on the environmental,

Figur 9 eine erfindungsgemäße variable Optik mit einer zu- ■ sätzlichen Elektrode zur Einstellung eines Randwinkels, 9 shows a variable lens according to the invention with a to-• ■ sätzlichen electrode for adjusting a contact angle,

Figur 10 eine erfindungsgemäße variable Optik mit einer Mehrzahl von Elektroden zur Einstellung eines • spektral unterschiedlichen Ablenkwinkels, 10 shows a variable lens according to the invention having a plurality of electrodes for setting a deflection angle • spectrally different,

Figur 11 eine erfindungsgemäße variable Optik mit einer Mehrzahl von Elektroden zur Bereitstellung eines einstellbaren Ablenkwinkels, 11 shows a variable lens according to the invention having a plurality of electrodes for providing an adjustable deflection angle,

Figur 12 eine erfindungsgemäße variable Optik mit unterschiedlich transparenten Fluiden zur Bereitstellung einer einstellbaren Blende, 12 shows an inventive variable lens with different fluids transparent to provide an adjustable diaphragm,

Figur 13 eine erfindungsgemäße variable Optik mit unter- schiedlich farbigen Fluiden zur Bereitstellung eines einstellbaren Farbfilters, 13 shows a variable lens according to the invention with differently colored fluids for providing a settable color filter,

Figur 14 eine beispielhafte Anordnung einer Mehrzahl von individuell ansteuerbaren Elektroden, und 14 shows an exemplary arrangement of a plurality of individually addressable electrodes, and

Figur 15 einen Ausschnitt einer beispielhaften Elektrodenanordnung in einer variablen Optik gemäß der Erfindung zur Bereitstellung eines Linsenarrays . Figure 15 shows a detail of an exemplary electrode assembly in a variable lens in accordance with the invention to provide a lens array.

In der Figur 1 ist eine variable Optik dargestellt, bei der eine Kammer 1 einen Bodenbereich 3 , einen Randbereich 5 und einen Deckelbereich 7 aufweist . In the figure, 1 is a variable optical system is shown in which a chamber 1 having a bottom portion 3, an edge portion 5 and a lid portion. 7 Die Kammer 1 enthält zwei dielektrische Fluide S 1 und 9 2 , mit Dichten d x bzw. d 2 , Dielektrizitätszahlen Si bzw. ε 2 und Brechungsindizes Ti 1 bzw. τi 2 - Die beiden Fluide bilden wegen ihrer begrenzten Misch- barkeit eine (Phasen-) Grenzfläche 11 zwischen sich aus . The chamber 1 contains two dielectric fluids S 1 and 9 2, having densities d x and d 2, Si or dielectric constants ε 2, and refractive indices Ti 1 or 2 τi - the two fluids form because of their limited miscibility a (phases -) interface 11 from therebetween. Dabei können beide Fluide im jeweils anderen Fluid in geringem Maße löslich sein. Here, both fluids in the other fluid may be soluble to a small extent. Die Grenzfläche 11 wird durch einen Umfangsbereich 13 begrenzt , der Teil ' der Kammer 1 ist . The boundary surface 11 is limited by a peripheral portion 13 which is part 'of the chamber. 1 Außerdem weisen die beiden Fluide 9 X und S^ Adhäsionen zu dem Oberflächenmaterial des Umfangsbereichs 13 sowie Kohäsionen auf, aus welchen ein Randwinkel CXQ zwischen der Oberfläche des Umfangsbereichs ' 13 und der Grenzfläche 11 resultiert . In addition, the two fluids have X 9 and S ^ adhesions to the surface material of the peripheral portion 13 and cohesions, from which a contact angle between the surface of CXQ peripheral portion '13 and the interface 11 results. - . - ■.

Ferner weist die Kammer 1 Elektroden 15 , 17 auf, die in diesem Beispiel an dem Deckelbereich 7 und dem Bodenbereich 3 angeordnet sind. Further, the chamber 1 electrodes 15, 17, which are arranged in this example to the lid portion 7 and the bottom portion. 3 In diesem Beispiel ist ' die Kammer 1 zylindrisch, die Elektrode 15 besteht aus mehreren konzen- trischen, ringförmigen Einzelelektroden, und die Elektrode 17 ist transparent und bedeckt den Boden 3. Zusätzlich ist eine um die Kammer herum angeordnete Steuerelektrode 18 vorgesehen . In this example, the chamber 1 'is cylindrical, the electrode 15 consists of a plurality of concentric annular individual electrodes, and the electrode 17 is transparent and covers the bottom 3. In addition, disposed around the chamber control electrode 18 is provided. Die Kammer kann alternativ auch quaderförmig sein, oder/und die Elektroden können jeweils streifenförmig oder polygonal sein. The chamber may alternatively be cuboid, and / or the electrodes may be each strip-shaped or polygonal. Es können auch jeweils mehrere Elektroden vorgesehen sein . It may also be each multiple electrodes. Ferner können die Elektroden, sofern an einem von einem Lichtstrahl (siehe unten) durchsetzten Teil der Kammerwand angeordnet und deshalb transparent, zum Beispiel aus Indium-Zinn-Oxid (ITO) gefertigt sein. Furthermore, the electrodes may, if disposed at one of a light beam (see below) traversed part of the chamber wall and is therefore transparent, for example made of indium-tin-oxide (ITO) may be made.

Bevorzugte ITO-Schichten haben, je nach gewünschtem Widerstand, eine Dicke von etwa 15 bis 310 nm und sind bevorzugt von der Unterlage, also vom Deckel, durch eine SiO 2 -Schicht von 20 bis 70 nm Dicke getrennt . Preferred ITO layers have, depending on the desired resistance, a thickness of about 15 to 310 nm and are preferably separated from the substrate, ie from the cover through an SiO 2 layer of 20 to 70 nm thick. Solche Schichten haben einen Transmissionsgrad von mehr als 80 % . Such layers have a transmittance of more than 80%. Es ist bevorzugt, wenn benachbarte transparente Elektroden durch einen Bereich eines ebenfalls transparenten, aber isolierenden Materials getrennt sind, das vorzugsweise einen gleichen oder ähnlichen Brechungsindex wie das Elektrodenmaterial aufweist , um Laufzeitunterschiede zu reduzieren. It is preferable that adjacent transparent electrodes are separated by an area of a likewise transparent, but the insulating material, which preferably has the same or similar refractive index as the electrode material in order to reduce delay time differences. Um verzer- rende Einflüsse der Elektrodenzuleitungen zu reduzieren, kann ferner eine gitterförmige Masseelektrode ■ zwischen dem oberen Abdeckglas und den Steuerelektroden angeordnet sein, so daß die Feldlinien lokal in den Gitteröffnungen gebün- delt sind. In order to reduce distortion-saving effects of the electrode leads, a grid-shaped ground electrode may further be disposed between the upper cover glass ■ and the control electrodes, so that the field lines are locally bundled in grid openings.

Die Elektroden sind an von einem • Steuercomputer regelbare Spannungsquellen 19 angeschlossen, so daß sich bei Anlegen einer Spannung in den dielektrischen Fluiden 9ϊ und 9 2 j eweils ein elektrisches Feld aufbaut . The electrodes are connected to controllable by a control computer • voltage sources 19 so that in each case j builds upon application of a voltage in the dielectric fluids 9ϊ 9 and 2, an electric field ■. In Folge der Elektrodengeometrie oder/und der gekrümmten Grenzfläche zwischen Dielektrika mit verschiedenen Dielektrizitäts- zahlen ist das aufgebaute elektrische Feld inhomogen sowie unstetig an der Grenzfläche und bewirkt daher eine Kraft auf die Dielektrika und ihre Grenzfläche . charged as a result of electrode geometry and / or the curved interface between dielectrics with different dielectricity is constructed electric field homogeneous and discontinuous at the interface and thus causes a force on the dielectrics and their interface. Dadurch wird die Grenzfläche verformt , so daß auf Grund der Oberflächenspannung eine Gegenkraft auftritt . Characterized the interface is deformed, so that a counter-force occurs due to the surface tension. Die Grenzfläche nimmt im Gleichgewicht eine solche Form an, daß Kraft und Gegenkraft ' einander kompensieren. The boundary surface in equilibrium assumes a shape such that force and counterforce 'compensate each other. Geeignete Dielektrika sind beispielsweise Wasser • (s « 80 , 4) und . Suitable dielectrics include water • (s "80, 4) and •. ein Kohlenwasserstoffgemis.ch ähnlicher Dichte - (ε » 2 , 2) . Kohlenwasserstoffgemis.ch a similar density - (ε "2, 2).

Die Kammer 1 wirkt zusammen mit den in ihr enthaltenen Fluiden für ein den transparenten Deckel- 5 und Boden- bereich 3 durchsetzendes Strahlbündel 2 wie eine Linse, deren Wirkung je nach dem Unterschied in den Brechungsindizes H 1 bzw. H 2 sowie je nach der Grenzflächenkrümmung sammelnd oder ' zerstreuend ist . The chamber 1 cooperates with the fluids contained in it for the transparent lid 5 and bottom portion 3 by releasing beam 2 such as a lens, the effect depending on the difference in the refractive indices of H 1 and H 2 as well as depending on the interfacial curvature is collecting 'or dispersing. Im dargestellten Beispiel ist die Grenzfläche 11 für ein von oben einfallendes Strahlbündel 2 konvex, und der Brechungsindex des zweiten Fluids ist höher als der des ersten Fluids , so daß eine sammelnde Wirkung eintritt . In the illustrated example, the interface 11 is convex on a top incident beam 2 and the refractive index of the second fluid is higher than that of the first fluid, so that a collecting effect occurs. Wenn eine Spannung an die Elektroden angelegt wird, verändert sich die Form der Grenzfläche, und die SammelWirkung der Flüssigkeitslinse wird je nach Höhe der Spannung mehr oder weniger beeinflußt . When a voltage is applied to the electrodes, the shape of the interface changes, and the collecting effect of the liquid lens is influenced more or less depending on the level of the voltage. Da der Randwinkel α in diesem Beispiel unbeeinflußt, und die ZyIinderSymmetrie der Anordnung gewahrt bleibt , besteht der spannungsabhängige Einfluß hauptsächlich in einer Abflachung oder Ausbeulung der Grenzfläche im mittleren Bereich (in Figur 1 durch Pfeile angedeutet) , begleitet von einer Verschiebung eines peripheren Bereichs der Grenzfläche in gegenläufiger Richtung, weil das Volumen der Fluide weitestgehend gleich bleibt (abgesehen von Elek- trostriktion) . Since the edge angle α unaffected in this example, and the ZyIinderSymmetrie the arrangement remains intact, there is the voltage-dependent influence mainly in a flattening or bulging of the boundary surface in the central region (in Figure 1 by arrows), accompanied by a displacement of a peripheral portion of the boundary in the opposite direction, because the volume of fluids remains largely equal to (apart from electron trostriktion). Wenn die beiden Fluide praktisch dichte- gleich sind (d x « d 2 ) , resultiert im spannungslosen Fall eine nahezu perfekt sphärische Grenzfläche (Minimalfläche) , so daß eine angelegte Spannung eine bestimmte, radial- symmetrische Asphärizität bewirkt . If the two fluids have nearly the same density (d x «d 2), resulting in the voltage is a nearly perfectly spherical interface (minimum surface) so that an applied voltage causes a certain, radial symmetrical asphericity. Sind die Fluide nicht dichtegleich, so daß die Grenzfläche im spannungslosen Fall nicht sphärisch ist , kann die Asphärizität durch eine ge- ' eignete angelegte Spannung reduziert werden. If the fluids do not have the same density, so that the interface from the power supply case is not spherical, the asphericity can 'appropriated by an overall applied voltage can be reduced.

In einer Variante der oben beschriebenen Optik ist In a variant of the optics described above

• wenigstens eine der Elektroden, beispielsweise die an dem • at least one of the electrodes, for example, to the

Deckelbereich angeordnete, nicht ring- oder kreisförmig, sondern aus einer Vielzahl von einander kreuzenden, jeweils im Wesentlichen linearen Elektroden gebildet . Lid portion arranged annular or not circular but of a plurality of intersecting each other, each being formed substantially linear electrodes. Eine beispielhafte Anordnung ist in Figur 14 dargestellt . An exemplary arrangement is shown in FIG fourteenth , An die Elektroden sind jeweils individuell einstellbare Spannungen angelegt . , In each case individually adjustable voltages are applied to the electrodes. Durch geeignete, symmetrische Wahl der Spannungen resultiert eine annähernd torische Verzerrung der Grenzfläche, wobei die Orientierung der Hauptachsen durch das Spannungsverhältnis der einander kreuzenden Elektroden gegeben ist . By appropriate symmetric choice of voltages results in an approximate toric distortion of the interface, wherein the orientation of the main axes is given by the voltages of the mutually crossing electrodes. Eine asymmetrische Spannungsverteilung resultiert in einer lateralen Verschiebung der Grenzfläche relativ zur Lage der optischen Achse im Nullfeldfall . An asymmetric distribution of stress results in a lateral displacement of the interface relative to the position of the optical axis in the zero-field case. Wenn die Engstellen 83 der Elektroden 41 einen hinreichend großen elektrischen Widerstand aufweisen, bewirkt eine an ihre beiden Enden 43 , 45 angelegte Potentialdifferenz einen Stromfluß durch die Elektroden 41 mit ihren flächigen und daher besser leitenden Teilstücken 81 , und damit einen stufenförmigen Spannungsabfall entlang ihrer Längs- erstreckung. If the constrictions 83 of the electrodes 41 have a sufficiently large electrical resistance, a voltage applied to both ends 43, 45 the potential difference causes current to flow through the electrodes 41 with their sheet-like and therefore better conducting sections 81, and thus a step-shaped voltage drop along its longitudinal co-extensive. Damit kann für jedes Teilstück 81 der von einer solchen Elektrodenanordnung 16 bedeckten Fläche ein elektrisches Potential weitgehend frei eingestellt werden. Thus, an electric potential can be set largely free for each portion 81 of the area covered by such an electrode array 16 surface. Wird durch eine solche Vielzahl von Elektroden ein Poten- tialmuster bereitgestellt, so wird dadurch die Grenzfläche in entsprechender Weise verformt . Provided by such a plurality of electrodes, a po- tialmuster, so characterized, the interface is deformed in a corresponding manner. Daraus resultiert im weiteren Verlauf des durchtretenden Lichtstrahls 2 für j eden Querschnitt , abhängig vom Abstand von der Optik, ein im Wesentlichen frei formbares Intensitätsmuster. This results in the further course of the passing light beam 2 for j Eden cross-section, depending on the distance from the optics, a substantially free moldable intensity pattern. • ■ • Die Elektroden können andererseits auch konzentrisch, aber sektoriert angeordnet sein, so daß verschiedene Sektoren mit unterschiedlichen Spannungen angesteuert werden können . • ■ • The electrodes on the other hand also concentrically, but sectored be arranged so that different sectors with different voltages can be driven. Hierdurch wird die Grenzfläche seitlich verlagert, falls einander gegenüberliegende Sektoren gegenläufig angesteuert werden, oder zum Beispiel oval verzerrt . In this way the interface is displaced laterally, if opposing sectors are driven in opposite directions, or, for example oval distorted.

Die Abstände benachbarter transparenter Strukturen liegen bevorzugt im Bereich 5 μm - 100 μm, können aber auch ab 2 μm bzw. bis zu 400 μm betragen. The distances between adjacent transparent structures preferably in the range 5 microns - 100 microns, but may also be from 2 microns, or up to 400 microns. Die Gesamtzahl der Elektrodenstreifen beträgt wenigstens 10 bis 40 , kann aber je nach Anwendung auch bis zu 1000 oder sogar 4000 betragen. The total number of electrode strips is at least 10 to 40, but may be depending on the application of up to 1000 or even 4000th Die Ansteuerung erfolgt beispielsweise digital, zum Beispiel mit ca . It is controlled, for example, digital, for example, approx. 1000 Stufen, wobei sowohl positive als auch negative Spannungs-Vorzeichen möglich sind . 1000 levels, with both positive and negative voltages are possible. Die Spannungswechsel erfolgen bevorzugt innerhalb weniger (zum Beispiel 3 ) Millisekunden. The voltage changes occur within preferably less (for example 3) milliseconds. Die erzeugte Feldstärke liegt lokal im Bereich bis zu 1000 V/m, bevorzugt bis zu 400 V/m; The field strength produced is located locally in the region up to 1000 V / m, preferably up to 400 V / m; dabei treten Feldgradienten, also örtliche Variationen der Feldstärke, im Bereich bis zu etwa 10 kV/cm 2 , insbesondere bis zu etwa 10 kV/m auf . thereby occur field gradient, that local variations in the field strength in the range up to about 10 kV / cm 2, preferably up to about 10 kV / m.

Die Anordnung der Elektrodenstrukturen kann rasterförmig oder, für den Ausgleich spezieller optische Fehler, kreis- oder ellipsenförmig sein. The arrangement of the electrode structures can be grid-like or, for compensating special optical errors, circular or elliptical. Für eine dauerhafte Aufprägung einer bestimmten Feldverteilung können die Elektroden . For permanent application of a particular field distribution, the electrodes. durch separierte, bevorzugt transparente Ladungsinseln nach Art eines Flash-Speichers gebildet sein, die eine bestimmte Ladungsverteilung einma- lig aufgeprägt bekommen und die diese Ladungsverteilung über längere Zeit beibehalten. be formed by separated, preferably transparent charging islands like a flash memory, the one-off a certain charge distribution lig get impressed and retain this charge distribution over time.

In den im Folgenden dargestellten Varianten sind der Struktur oder/und Funktion nach entsprechende Komponenten mit gleichen Ziffern, aber zwecks Unterscheidung mit zusätzlichen Kleinbuchstaben bezeichnet . In the illustrated hereinafter variants of the structure and / or function to corresponding components with the same numerals, but in order to distinguish are designated with additional small letters.

In der Figur 2 ist eine Anordnung dargestellt, bei der der ümfangsbereich 13a einer der Elektroden 17a gegenüberliegt; In Figure 2 an arrangement is shown in which the ümfangsbereich 13a of one of the electrodes 17a opposite; der Spannungssteuerteil entspricht dabei dem in . the voltage control part is the same in. Figur 1 dargestellten. Figure 1 illustrated. Wegen der unterschiedlichen Dielektrizitäts- zahlen der beiden Fluide 9ai und 9a 2 ist die Feldstärke, und damit die Feldliniendichte einerseits, sowie die Feldlinienrichtung andererseits in den beiden Fluiden unterschiedlich, so daß wiederum eine Kraft auf die Grenzfläche IIa zwischen den Fluiden Oa 1 und 9a 2 ausgeübt wird. Because of the different dielectricity of the two fluids pay 9 ai and 9a 2, the field strength, and thus the field line density on the one hand, and the field line direction on the other hand in the two fluids are different, that in turn exerts a force on the interface IIa between the fluids Oa 1 and 9a 2 is applied. Durch Wahl unterschiedlicher Potentiale an den Elektroden 15a kann die Grenzfläche weitgehend frei geformt werden. By selecting different potentials to the electrodes 15a, the boundary surface can be largely freely formed.

In der in Figur 3 dargestellten Anordnung ist . In the embodiment shown in Figure 3 arrangement. eine ringförmige Elektrode 17b am Bαdenbereich Ib angeordnet , während eine Gegenelektrode 15b am Randbereich 3b angeordnet ist . an annular electrode 17b is disposed on the Bαdenbereich Ib, while a counter electrode 15b is disposed on the edge portion 3b. Im dargestellten Beispiel liegt der dem Ümfangsbereich 13b benachbarte Grenzflächenrand in dem Randbereich 3b der Gegenelektrode 15b gegenüber. In the example shown is the Ümfangsbereich 13b adjacent boundary edge opposite to the edge portion 3b of the back electrode 15b. Wiederum ist dies ein Bereich hoher Feldstärke (angedeutet durch gestrichelte Feldlinien) , und wegen der gewinkelten. Again, this is an area of high field strength (indicated by dashed field lines), and because of the angled. Anordnung der Elektroden 15b und 17b zueinander ist auch die Feldinhomogenität hoch. the field inhomogeneity arrangement of the electrodes 15b and 17b is high to each other. In diesem Beispiel wird also die Form der Grenzfläche eben- falls durch, die an die Elektroden 15b und 17b angelegte Spannung beeinflußt . In this example, the shape of the interface is likewise by affecting to the electrodes 15b and 17b applied voltage.

In allen diesen Varianten und Ausführungsformen ist es bevorzugt , wenn das dichtere Fluid unten angeordnet ist , unabhängig davon, ob der Boden- oder der Deckelbereich unten angeordnet ist . In all these variants and embodiments, it is preferred that the dense fluid is arranged at the bottom, regardless of whether the bottom or the cover region is arranged below. Wenn der Dichteunterschied zwischen den Fluiden hinreichend klein ist, insbesondere der relative Dichteunterschied ' Δd = 2* J d 1 - d 2 | If the difference in density between the fluids is sufficiently small, especially the relative density difference '.DELTA.d = 2 * J d 1 - d 2 | / (di + d 2 ) kleiner als 0 , 1 ist , kann die variable Optik auch schräg zur • Schwerkraftrichtung, oder mit dem nur geringfügig dichteren Fluid oben angeordnet sein. / Is (di + d 2) is smaller than 0, 1, the variable lens can also be arranged obliquely to the • direction of gravity, or with only slightly more dense fluid above. Gleichbedeutend mit der Schwerkraftrichtung kann in einigen Anwendungen eine Beschleuniτ gungsrichtung sein. Synonymous with the direction of gravity, a Beschleuniτ may supply direction in some applications.

Unter Dielektrika werden im Rahmen dieser Anmeldung solche Substanzen verstanden, deren Leitfähigkeit Null oder so klein ist, daß für sie eine reelle statische Dielektrizitätskonstante angegeben werden kann, insbesondere kleiner als 1 S/m, vorzugsweise 0 , 1 - S/m, bzw. ihr spezifischer- elektrischer Widerstand größer ist als 1 Ω.-m, vorzugsweise 10 Ω-m. Under dielectrics are understood to be substances in the context of this application, the conductivity is zero or so small that they can be specified for a real static dielectric constant, in particular less than 1 S / m, preferably 0, 1 - S / m, or its is spezifischer- electrical resistance greater than 1 Ω.-m, preferably 10 Ω-m. Solche Fluide, deren spezifischer elektrischer Widerstand kleiner ist als 1 Ω-m, bzw. deren Leitfähigkeit größer ist als 1 S/m, werden im Rahmen dieser Anmeldung als leitfähig betrachtet ; Such fluids whose specific electrical resistance is less than 1 Ω-m, and whose conductivity is greater than 1 S / m, are considered within the scope of this application as conductive; dazu gehören zum Beispiel hinreichend konzentrierte wäßrige Salzlösungen. This information can include, for example, sufficient concentrated aqueous salt solutions. Bei Verwendung von Salzlösungen ist es bevorzugt, zur Vermeidung von Elektrolyseeffekten statt einer Gleichspannung eine niederfrequente WechselSpannung, zum Beispiel im Frequenzbereich unterhalb 10000 Hz, bevorzugt von 100 bis 2000. Hz, zu verwenden. With the use of salt solutions it is preferable to avoid electrolytic effects rather than a DC voltage into a low-frequency AC voltage, for example in the frequency range below 10000 Hz, preferably from 100 to 2000 Hz for use.

In der in Figur 4 dargestellten Anordnung ist eine solche leitfähige Flüssigkeit 9c 2 unter einem dielektrischen Fluid 9c x angeordnet; In the embodiment shown in Figure 4 arrangement, such a conductive liquid is 9c 2 with a dielectric fluid 9c x; im übrigen ist die Struktur dieser variablen in the rest of the structure of this is variable

Optik ähnlich der in Figur 2 gezeigten. Optics similar to that shown in FIG. 2 Da die Flüssigkeit 9C 2 leitfähig ist - es handelt sich beispielsweise um eine 20%ige wäßrige LiCl-Lösung oder Na 2 CrO 4 -Lösung - stellt ihre Oberfläche, also auch ihre Grenzfläche zu dem dielektrischen Fluid 9C 1 - beispielsweise ein Phenylmethyl- siloxan-Gemisch mit einem Zusatz von Kohlenstoff- tetrabromid, dessen Dichte gleich der Dichte, der Salzlösung ist - eine Äquipotentialfläche dar, auf der die elektrischen Feldlinien senkrecht stehen. Since the liquid 9C 2 is conductive - aqueous LiCl solution or Na 2 CrO is, for example, be a 20% 4 solution - presents its surface, including its interface with the dielectric fluid 9C 1 - for example, a phenylmethyl siloxane mixture with an addition of carbon tetrabromide, the density equal to the density of the saline solution - represents an equipotential surface on which the electric field lines are perpendicular. Das bedeutet, daß das in dem dielektrischen Fluid 9c x durch Anlegen einer Spannung an die Elektroden 15c, 17c aufgebaute Feld inhomogen ist . This means that it is inhomogeneous in the dielectric fluid 9c x by applying a voltage to the electrodes 15c, 17c applied field. Außerdem erzeugt die angelegte Spannung einen Ladungsüberschuß in dem Teil der leitfähigen Flüssigkeit, die der Elektrode . In addition, the applied voltage generates a charge surplus in the part of the conductive fluid, the electrode of the. 17c gegenüberliegt . 17c is opposed to. Durch die so unter Einschluß des dazwischenliegenden Teils des Bodenbe- reichs 3c entstehende Kapazität stellt sich ein neuer, spannungsabhängiger Randwinkel α zwischen der Grenzfläche llc und der Oberfläche des Bodenbereichs ein. By so formed with inclusion of the intermediate part of the bottom portion 3c, a new capacity, voltage-dependent contact angle α provides an interface between the LLC and the surface of the bottom portion. Eine Änderung des Randwinkels , bei gleichbleibendem Volumen der Fluide, bedeutet auch eine Änderung der Grenzflächenform, zum Bei- spiel eine Abflachung. A change in the contact angle, with constant volume of the fluids, also means a change in the interface form, for examples play a flattening. Da die Brechungsindizes der Fluide verschieden sind., ändern sich dem zu Folge auch die optischen Eigenschaften der Optik mit der Spannung; . Since the refractive indices of the fluids are different, the sequence to the optical properties of the optical change with the voltage; im Beispiel einer Abflachung der Grenzfläche nimmt die Brechkraft der Grenzfläche llc ab. in the example of a flattening of the surface area increases, the refractive power of the interface from llc. Hinsichtlich einer möglichst genauen Einstellbarkeit der Grenzflächenkrümmung ist es bevorzugt, wenn die Kammerwand wenigstens in der Umgebung des Umfangs- bereichs in einer Weise ausgebildet ist, die eine Randwinkelhysterese δα begrenzt, vorzugsweise auf 2° oder weniger (δα < 2° ) . With regard to the most precise adjustability of the interfacial curvature, it is preferred that the chamber wall portion formed at least in the vicinity of the peripheral in a manner which defines a contact angle hysteresis δα, preferably at 2 ° or less (δα <2 °).

In den beschriebenen Ausführungsformen und Varianten sind Boden- und Deckelbereich der Kammer plan und zueinander parallel; In the described embodiments and variants bottom and lid portion are planar and parallel to each of said chamber; in einer bevorzugten Ausführungsform können sie aber auch einzeln oder beide eine konkave oder insbesondere eine konvexe Form aufweisen. but in a preferred embodiment, they may also be individually or both have a concave or in particular a convex shape. Im letzteren Fall kann auf den Randbereich verzichtet werden, indem Boden- und Deckelbe- reich der Kainmer im direkten Kontakt stehen und zusammen eine plankonvexe oder bikonvexe Linsenform bilden. In the latter case can be dispensed onto the edge region by the soil and Deckelbe- rich Kainmer are in direct contact, and together form a plano-convex or bi-convex lens shape. In besonderen Anwendungsfällen können Boden- und Deckelbereich der Kammer plan und zueinander gewinkelt angeordnet sein, wobei sie eine prismatische Form bilden. In special cases, the bottom and top portion of the chamber may be arranged planar and angled to each other, forming a prismatic shape. In speziellen Fällen können die Boden- und Deckelbereiche aus optisch transparenten Materialen mit optischer Wirkung bestehen. In special cases, the bottom and top portions of optically transparent materials may be made with an optical effect. Die Boden- und Deckelbereiche können plan, konvex, konkav, asphärisch oder mit einer diffraktiv wirkenden Struktur ausgeführt sein. The bottom and cover portions may be provided with a diffractive structure acting plan, convex, concave, aspheric or. Somit wird eine gewünschte refraktive und diffraktive Wirkung erzielt . Thus, a desired refractive and diffractive effect. Die transparenten Elektroden werden auf die ebenen bzw. gekrümmten Oberflächen aufgebracht . The transparent electrodes are applied to the flat or curved surfaces. In diesen Fällen resultiert eine optische Wirkung schon aus der Krümmung der Außenflächen der Fluide, oder ihrer Neigung gegeneinander. In these cases, an optical effect already from the curvature of the outer surfaces of the fluids, or of their inclination due to today. Hinzu kommt die variable optische Wirkung der durch Anlegen einer Spannung an die Elektroden beeinflußbaren Grenzfläche . In addition, the variable optical effect of which can be influenced by applying a voltage to the electrode interface.

Ferner können Deckel- , Boden- und ggf. Randbereich aus ver- schiedenen, insbesondere dielektrischen Materialien bestehen, oder in unterschiedlicher Weise oberflächenbearbeitet sein. Further, top, bottom and possibly made from different edge region, particularly dielectric materials, or may be surface-treated in different ways. Sie können insbesondere bezüglich der in der Kammer enthaltenen Fluide verschiedene Adhäsion (Benetzungsstärke) und damit Randwinkel aufweisen. In particular they may have with respect to the fluids contained in the chamber different adhesion (wetting power) and edge angle. Es können auch Bereiche unterschiedlicher Adhäsion in einem oder mehreren dieser Bereiche vorgesehen sein, in beispielsweise konzentrischer Anordnung um eine optische Achse, um die Zentrierung der Fluide um diese Achse zu fördern. It may also be regions of different adhesion in one or more of these areas may be provided, for example, in a concentric arrangement about an optical axis, to promote the centering of the fluids to this axis. Es ist besonders bevorzugt, wenn das in Kontakt zu dem Deckelbereich angeordnete Fluid zu dessen Oberfläche eine höhere Adhäsion als zur Oberfläche des Bodenbereichs aufweist , oder/und das in Kontakt zu dem Bodenbereich angeordnete Fluid zu dessen Oberfläche eine höhere Adhäsion als zur Oberfläche des Deckel- bereichs aufweist. It is particularly preferred if the arranged in contact with the lid portion fluid has to the surface of which a higher adhesion than to the surface of the bottom portion, or / and arranged in contact with the bottom portion of fluid to the surface of which a higher adhesion than the surface of the lid having range. Bei einer Anordnung wie in Figur 2 oder Figur 4 ist es bevorzugt, wenn das in Kontakt zu dem Randbereich angeordnete Fluid zu dessen Oberfläche eine höhere Adhäsion als zur Oberfläche des Bodenbereichs aufweist . In an arrangement as in Figure 2 or Figure 4, it is preferred if the arranged in contact with the edge area fluid has a higher adhesion to the surface than to the surface of the bottom portion. Diese Anordnungen fördern jeweils die Stabilität der Grenz- fläche . These arrangements encourage each the stability of the border area.

In der in Figur 5 dargestellten Ausführungsform ist die Grenzfläche Hd reflektiv, so daß Boden- oder Deckelbereich der variablen Optik von einem an der Grenzfläche Hd reflektierten Lichtstrahl nicht durchsetzt werden. In the embodiment illustrated in Figure 5 embodiment, the interface Hd is reflective so that bottom or cover area of the variable lens will not be penetrated by a reflected at the interface Hd light beam. In der dargestellten Ausführungsform ist das untere der Fluide 9d 2 eine metallische Flüssigkeit, an deren Grenzfläche Hd der einfallende Lichtstrahl 2d im Wesentlichen reflektiert wird. In the illustrated embodiment, the bottom fluid 9d 2 is a metallic liquid at their interface Hd of the incident light beam is substantially reflected 2d. Die Grenzfläche Hd wirkt somit als durch die an die Elektroden angelegte Spannung justierbarer Spiegel . The interface Hd thus acts as adjustable by the voltage applied to the electrode voltage levels.

Geeignete metallische Flüssigkeiten sind beispielsweise Quecksilber, Gallium-Aluminium-Legierungen und Natrium- Kalium-Legierungen, wobei letzteren insbesondere Cäsium zugesetzt sein kann. Suitable metallic fluids are, for example, mercury, gallium-aluminum alloys, and sodium potassium alloys, cesium wherein the latter may be added in particular. Eine Legierung aus 78 at% K und 22 at% Na schmilzt bei -12, 6 0 C und hat eine Dichte von 0, 73 g/cm 3 . An alloy of 78 at% and 22 at% K Na melts at -12, 0 6 C and has a density of 0 73 g / cm 3. Mit einem geeigneten Kohlenwasserstoff oder Kohlenwasser- stoffgemisch als dielektrischem Fluid kann leicht Dichtegleichheit eingestellt werden. With a suitable hydrocarbon or hydrocarbon mixture as a dielectric fluid density equality can be easily adjusted. Beispielsweise ist die Dichte von n-Dekan ebenfalls 0 , 73 g/cm 3 (Schmelzpunkt -29, 7°C) , die von n-Undekan ist 0 , 74 g/cm 3 (Schmelzpunkt -25, 6°C) . For example, the density of n-decane is also 0, 73 g / cm 3 (melting point -29, 7 ° C), which is 0 of n-undecane, 74 g / cm 3 (melting point: -25, 6 ° C). Geeignet ist auch Kerosin, das je nach Provenienz eine etwas höhere Dichte und einen etwas höheren Schmelzpunkt hat; Also suitable is kerosene, which has a slightly higher density and a slightly higher melting point depending on the origin; ein Zusatz von Cäsium in geeigneter Menge zu der Alkalimetall-Legierung erniedrigt deren Schmelzpunkt weiter und erhöht ihre Dichte entsprechend der Dichte des Kerosins . an addition of cesium in an appropriate amount to the alkali metal alloy further decreases the melting point and increases its density according to the density of the kerosene. Wegen der hohen elektrischen Leitfähigkeit der Alkalimetall-Legierungen ist die Reflektivität ihrer Grenzfläche zu einem Kohlenwasserstoff (gemisch) hoch. Because of the high electrical conductivity of the alkali metal alloys, the reflectivity of their interface is high to a hydrocarbon (mixture).

Auch die Grenzfläche zwischen nicht-metallischen Fluiden ist, sofern deren Brechungsindizes unterschiedlich sind, zu einem gewissen Grad reflektiv. Also, the interface between non-metallic fluid is provided that their refractive indices are different, reflective to a certain degree. Für einige Anwendungen, beispielsweise Strahlführungs-Kontrollzwecke, ist ein geringer Reflektionsgrad ausreichend. For some applications, such as beam steering control purposes, a low reflectivity is sufficient. Besonders große Reflektivität wird an der Grenzfläche eines optisch dichteren zu einem optisch dünneren Medium beobachtet (siehe Figur 6) , sofern der Einfallswinkel zum Einfallslot hinreichend groß ist (Totalreflexion) . Particularly large reflectivity is observed at the interface of an optically denser medium to an optically thinner (see Figure 6), if the angle of incidence to the axis of incidence sufficiently large (total reflection). Beispielsweise ist eines der Fluide, 9e 2 , eine 20%ige wäßrige LiCl-Lösung mit einer Dichte von 1, 12 g/cm 3 und einem Brechungsindex von 1, 38 ; For example, one of the fluids, 9e 2, a 20% aqueous LiCl solution with a density of 1 12 g / cm 3 and a refractive index of 1, 38; das andere Fluid, 9ei f ist eine Lösung von einigen Prozent Kohlenstoff- tetrabromid in einer Phenylmethylsiloxan-Mischung, mit gleicher Dichte wie die- wäßrige Lösung, und einem Brechungsindex von etwa 1, 55. Aus dem Verhältnis dieser. the other fluid, 9ei f is a solution of a few percent of carbon tetrabromide in a phenylmethyl siloxane mixture with the same density as DIE aqueous solution, and a refractive index of about 1, 55. From the ratio of these. Brechungsindizes resultiert ein Grenzwinkel der Totalrefle- xion von knapp 63 ° ; Refractive indices results in a critical angle of Totalrefle- xion of almost 63 °; dh ein Lichtstrahl , der unter einem- Einfallswinkel von 63° oder höher auf die Grenzfläche organische/wäßrige Phase trifft, wird zu 100% reflektiert . that is, a light beam which impinges at higher einem- incident angle of 63 ° or to the interface organic / aqueous phase is reflected at 100%. Der Bereich um das Einfallslot 4e herum wird dabei nicht von dem Lichtstrahl 2e durchsetzt, so daß in diesem Bereich intransparente Elektroden 15e an dem Deckelbereich 7e der Kammer Ie angeordnet .werden können. The area around the normal line around 4e will not be penetrated by the light beam 2e, so that in this area 15e non-transparent electrodes on the lid portion of the chamber Ie 7e disposed can .werden. Diese Elektroden 15e befinden sich in unmittelbarer Nähe zu der Grenzfläche He auf der Seite der dielektrischen (organischen) Phase, und das von ihnen ' erzeugte Feld wirkt also besonders effektiv auf die Grenzfläche He ein. These electrodes 15e are located in close proximity to the interface He on the side of the dielectric (organic) phase, and therefore the field 'generated by them is particularly effective on the interface a He. Es ist bevorzugt, den reflektierten Lichtstrahl durch den Randbereich 5e der Kammer Ie zu führen, da dies einen kompakteren Aufbau ermöglicht . It is preferable to guide the light beam reflected by the edge portion 5e of the chamber Ie, as this allows a more compact construction. Dieser Randbereich 5e ist bevorzugt so ausgebildet, daß der eintretende und reflektierte, austretende Lichtstrahl gegenüberliegende Teile des Randbereichs so durchsetzen, daß Effekte durch Lichtbrechung minimiert sind. This edge portion 5e is preferably designed so that the incoming and reflected, outgoing light beam pass through opposite parts of the edge region so that effects are minimized by light refraction. Der Teil des Randbereichs 5e" für den austretenden Lichtstrahl kann dabei in Richtung des Einfallslots gekrümmt ausgebildet sein. In den Figuren 7 und 8 ist j eweils eine nicht-metallische, aber leitfähige Flüssigkeit , beispielsweise eine wäßrige LiCl-Lösung, mit einer dielektrischen Flüssigkeit überschichtet . Da die dielektrische Flüssigkeit in diesem Fall einen größeren Brechungsindex hat als die wäßrige Lösung, hat die Optik in dem dargestellten Fall eines konvexen Meniskus zerstreuende Wirkung auf den ■ durchtretenden Lichtstrahl 2f . Die wäßrige Lösung ist durch eine Elektrode 17f direkt (galvanisch) kontaktiert . Mittels entfernt von und insbesondere geneigt zu dem Umfahcfsbereich 13f angeordnete Gegenelektroden 15f kann, wiederum ein inhomogenes elektri- sches Feld in der dielektrischen Flüssigkeit aufgebaut werden. Die Grenzfläche stellt wiederum eine Äquipotentialfläche dar, deren Potential durch die angelegte Spannung gege- ben ist . Der Randwink The part of the edge portion 5e "for the exiting light beam can be formed curved in the direction of the normal line in the figures 7 and 8, j in each case a non-metallic, but conductive liquid such as an aqueous LiCl solution, overcoated with a dielectric fluid. . Since the dielectric liquid in this case has a larger refractive index than the aqueous solution, the optics has contacted in the illustrated case of a convex meniscus diffusing effect on the ■ passing through light beam 2f. the aqueous solution is directly through an electrode 17f (galvanically). means away from and in particular inclined toward the Umfahcfsbereich 13f counter-electrodes 15f may, in turn, an inhomogeneous electric ULTRASONIC field in the dielectric fluid to be established. in turn, the interface constitutes an equipotential surface whose potential gege- by the applied voltage is ben. the Randwink el α ist im Wesentlichen durch die Oberflächen-Beschaffenheit . el α is mainly due to the Surface texture. des ümfangsbereichs 13f und die Adhäsions- und Kohäsionseigenschaften der beiden Flüssigkeiten 9fχ und 9f 2 festgelegt . the ümfangsbereichs 13f and the adhesive and cohesive properties of the two liquids 9fχ and 9f 2 fixed. Der galvanische Kontakt kann in einer Variante auch durch einen wenigstens teilweise metallisierten Bodenbereich bereitgestellt sein. The electrical contact may be provided in a variant, by an at least partially metallized bottom portion.

Um auch den Randwinkel α beeinflussen zu können, ist in der To α also influence the contact angle is in the

■ Anordnung der Figur .9 in dem ümfangsbereich 13g eine die ■ arrangement of FIG .9 in the ümfangsbereich 13g a the

Flüssigkeit nicht kontaktierende Elektrode 18g vorgesehen. Liquid non-contact electrode 18g provided. Im Übrigen entspricht diese Anordnung derjenigen der Figur 7. Durch die an die Elektrode 18g angelegte Spannung tritt an ihrer der leitfähigen, auf anderem Potential liegenden Flüssigkeit gegenüberliegenden Oberfläche ein Ladungsüberschuß auf, der sich in einem ebensolchen Ladungsüberschuß mit entgegengesetztem Vorzeichen in der leitfähigen Flüssigkeit widerspiegelt . Incidentally, this arrangement corresponds to that of Figure 7. Because of the voltage applied to the electrode 18g voltage appears at its said conductive lying on other potential liquid opposing surface, a charge excess on, which is reflected in another such excess charge of opposite sign in the conductive liquid. Zusammen bilden die geladenen Schichten mit dem dazwischenliegenden Teil des Bodenbereichs der Kammer einen spannungsabhängig geladenen Kondensator. Together the charged layers form a voltage-dependent capacitor charged with the intermediate part of the bottom portion of the chamber. Die Energie dieses Kondensators variiert je nach Lage des ümfangsbereichs relativ zu der Elektrode 18g, woraus eine Kraft auf die Grenzfläche und eine spannungs- abhängige Variation des Randwinkels ' resultiert . The energy of this capacitor varies depending on the location of the ümfangsbereichs relative to the electrode 18g, resulting in a force on the interface, and a voltage-dependent variation of the contact angle 'results. Mit der an die Elektrode 18g angelegten Spannung ist also der Randwinkel einstellbar, und damit die Krümmung der Grenzfläche . Thus, with the voltage applied to the electrode 18g, the edge angle is adjustable, and thus the curvature of the interface. Die gegenüberliegenden Elektroden 15g erzeugen zusätzlich ein inhomogenes Feld in der dielektrischen Flüssigkeit, das eine weitere Beeinflussung der Grenzflächenform erlaubt . The opposing electrodes 15g also generate an inhomogeneous field in the dielectric fluid, which allows further manipulation of the interface shape.

Die Grenzfläche zwischen den zwei Fluiden hat, sofern diese unterschiedliche Brechungsindizes aufweisen, in der Regel eine spektral unterschiedliche Strahlablenkung zur Folge. The interface between the two fluids has, unless that difference in refractive indices, typically a spectrally different beam deflection result. In dem der Auftreffwinkel eines zu analysierenden Lichtstrahls 2h durch Anlegen einer Spannung an die Elektroden 15h, 17h einer variablen Optik nach Figur 10 beeinflußt wird, werden auch unterschiedliche spektrale Komponenten des Lichtstrahls in unterschiedlichem Maß abgelenkt . In which the angle of incidence of a light beam to be analyzed is affected 2h by applying a voltage to the electrodes 15h, 17h of a variable lens according to Figure 10, also have different spectral components of the light beam to be deflected to a different extent. Jedes lichtempfindliche Element eines im Bereich des abgelenkten Lichts-trahls angeordneten Detektors 21h registriert also je nach angelegter Spannung eine andere spektrale Komponente des analysierten Lichts . Thus, each light-sensitive element of which is arranged in the region of the deflected light-trahls detector 21h registered depending on the applied voltage, a different spectral component of the analyzed light. Durch eine derartige Anordnung wird also ein Spektrorneter realisiert . By such an arrangement a so Spektrorneter is realized.

In einem Fall, in dem die spektrale Zusammensetzung keine Rolle spielt, zum Beispiel bei einem aus einer entsprechenden Lichtquelle 25i austretenden nahezu monochromatischen Laserstrahl, wird .durch eine Anordnung nach Figur 11 der einfallende Lichtstrahl 2i gemäß der anliegenden Spannung abgelenkt, bzw. bei senkrechtem Einfall nicht abgelenkt . In a case where the spectral composition does not play a role, for example in an emerging from a corresponding light source 25i nearly monochromatic laser beam, the incident light beam is 2i deflected in accordance with the applied voltage .by an arrangement according to Figure 11, or at normal incidence not distracted. In diesem Fall ist die Kammergeometrie quaderförmig, das heißt der Umfangsbereich 5i besteht aus vier Rechtecken. In this case, the chamber geometry is cuboid, ie the peripheral region 5i consists of four rectangles. An jedem Rechteck ist eine individuell ansteuerbare Elektrode 18i ' , 18i" angeordnet, so daß die in der Kammer enthaltenen Fluide 9i lf 9i 2 einem quer zur Einfallsrichtung des Lichtstrahls 2i orientierten elektrischen Feld ausgesetzt werden können. Dadurch wird die Grenzfläche Hi asymmetrisch zur optischen Achse 23i geneigt (gestrichelt angedeutet Hi 1 ) , woraus eine durch die angelegten Spannungen einstellbare Ablenkung in einer oder beiden zur Strahlrichtung senkrechten Richtungen resultiert . Diese Anordnung eignet sich also dazu, einen einfallenden Lichtstrahl (oder Infrarot-Strahl) in einer oder zwei zueinander senkrechten Richtungen ein- stellbar abzulenken. Im letzteren Fall kann die Ablenkung durch in den zwei zueinander senkrechten Richtungen unterschiedlich schnell sägezahnartig variierende, in ihrer Periode vorzugsweise kommensurable Spannungen in Form einer zeilenweisen Ablenkung erfolgen. At each rectangular individually addressable electrode is disposed 18i ', 18i', so that the fluids contained in the chamber 9i lf 9i 2 transversely to the direction of incidence of the light beam 2i oriented electric field can be exposed. Thereby, the interface Hi asymmetric to the optical axis 23i inclined (indicated by dashed lines Hi 1), resulting therefore adjustable by the applied voltages deflection, in one or both to the beam direction perpendicular directions. This arrangement is suitable to an incident light beam (or infrared beam) in one or two mutually perpendicular directions mono- adjustable divert. in the latter case the deflection, by each other in the two perpendicular directions at different speeds varying sawtooth, preferably done in its period commensurate voltages in the form of a line-wise deflection.

Mit einer rasterförmigen Elektrodenstruktur wie oben beschrieben können in einer Variante auch aus dem einfallenden Lichtstrahl 2i mehrere abgelenkte Teillichtstrahlen gebildet werden, indem in verschiedenen Rastern der Elektrodenstruktur verschieden ablenkende Felder erzeugt werden. can, as described above with a grid-shaped electrode structure in a variant also from the incident light beam deflected 2i several partial light beams are formed by different deflecting fields are generated in different grids of the electrode structure.

In der Anordnung der Fluide nach Figur 12 kontaktiert eines der Fluide 9J 2 sowohl den Deckelbereich 7j wie den Bodenbe- reich 3j mittig, während das andere Fluid 9J 1 nur den Deckelbereich 7j peripher, sowie Teile des Randbereichs 5j berührt . In the arrangement of the fluids of Figure 12 one of the fluids 9J 2 contacts both the lid portion 7j as the Bodenbe- rich 3j centrally, while the other fluid 9J 1 contacts only the peripheral lid portion 7j, and parts of the edge region 5y. Dieses periphere Fluid 9J 1 hat einen wesentlich geringeren Transmissionsgrad für einen auf die Optik auftreffenden, durch eine Kollimatoroptik 27j parallelisierten Strahl 2j . This peripheral fluid 9J 1 has 2j a substantially lower transmittance for an incident on the optics, through a collimator optics 27j collimated beam. In dieser Anordnung treten zwei Umfangsbereiche 13j ' , 13j " auf, einer am Randbereich, der andere am Deckelbereich. Deckel- und Bodenbereich könnten auch vertauscht sein. Eine Beeinflussung der Grenzfläche 11j , und insbesondere ihres Randwinkels α in einem dieser Bereiche, hat eine Durchmesserveränderung des Kontaktbereichs 12j des transparenteren Fluids zu dem Deckel- bzw. Bodenbereich zur Folge . Eine Veränderung der an die Elektroden angelegten Spannungen bewirkt also eine IntensitätsVeränderung in dem durchtretenden Strahl 2j ' . Durch eine solche Anordnung wird damit eine einstellbare Blendenwirkung realisiert . Da der Transmissionsgrad an dem Umfangsbereich 13j ' nicht sprung- artig, sondern wegen des von 90 ° verschiedenen Randwinkels allmählich radial variiert (siehe das schematische Intensitätsdiagramm in Figur 12) , besitzt eine solche Blende neben der Einstellbarkeit auch die Eigenschaft verringerter Beugungseffekte . In this arrangement, contact two circumferential portions 13j ', 13j' on, one at the edge region, the other on the lid portion. Top and bottom portion may also be interchanged. An influence of the interface 11j, and in particular its contact angle α in any of these areas, has a change in diameter the contact area 12j of the transparent fluid to the cover or base area of the effect. a change in the voltage applied to the electrodes thus causing a change in intensity in the permeating beam 2j '. by such an arrangement so that an adjustable orifice effect is realized. Since the transmittance of the peripheral region 13j 'does not jump at once, but gradually varied radially due to the 90 ° contact angle different (see the schematic diagram of intensity in Figure 12) has such a panel next to the adjustability also have the property of reduced diffraction effects.

In der in Figur 13 dargestellten Variante der Anordnung nach Figur 12 sind die Transmissionsgrade nicht , oder nicht nur integral verschieden, sondern vor allem in spektralen Teilbereichen verschieden; In the embodiment shown in Figure 13 variant of the arrangement of Figure 12, the transmittances are not, or not only integrally different, but especially in spectral partial regions different; also T 1 (λ) ≠ T 2 (λ) , wobei λ die Wellenlänge des Lichtes repräsentiert und T (λ) den spektralen Transmissionsgrad. Thus, T 1 (λ) ≠ T 2 (λ), where λ represents the wavelength of light, and T (λ) the spectral transmittance. Beispielsweise absorbiert eines der Fluide, 9k 2 , vorwiegend im blauen und ultravioletten Spektralbereich (sieht also gelb-orange aus) , das andere, 9kχ, vorwiegend im roten und infraroten Spektral- bereich (sieht also grünlich aus) . For example, absorbed one of the fluids, 9k 2, mainly in the blue and ultraviolet spectral range (looks so yellow-orange from), the other, 9kχ, primarily in the red and infrared spectral range (that is, looks greenish). Die Veränderung der anliegenden Spannungen hat dann zur Folge, daß sich die Filterwirkung der durchstrahlten Fluide auf den durchtretenden Strahl 2k 1 ändert (siehe in Figur 13 dargestellte schematische Spektren) ; The change of the applied voltages has then the consequence that the filter effect of the irradiated fluid to change to the beam passing through 2k 1 (see shown in Figure 13 are schematic spectra); das heißt, diese Anordnung realisiert ein eins-tellbares Farbfilter. that is, this arrangement realizes a one-tellbares color filter.

Um in dieser Variante unerwünschte Brechungseffekte zu minimieren, kann es in dieser Anwendung vorteilhaft sein, Fluide mit möglichst ähnlichen Brechungsindizes n x und n 2 , aber verschiedener Farbe zu wählen. To minimize unwanted diffraction effects in this variant, it may be advantageous in this application, fluids with similar possible refractive indices n x and n 2, but choose a different color. Durch einen der Kammer nachgeordneten physikalischen Strahlenteiler, zum Beispiel in Form eines zentral angeordneten, zur Richtung des durchtretenden Strahls geneigten Fangspiegels (nicht darge- stellt) , kann zudem der zentrale Strahlteil von dem peripheren Strahlteil separiert werden. Through one of the chamber downstream physical beam splitter, for example in the form of a centrally disposed, inclined to the direction of the beam passing through the secondary mirror (not ones shown, presents), in addition, the central beam part can be separated from the peripheral beam portion.

Weitere Anwendungen ergeben sich auf dem Gebiet der Other applications are found in the field of

Ophthalmologie, indem zum Beispiel mit der gemäß der Erfindung frei formbaren Grenzfläche ein Ausgleich von Ophthalmology, for example by using the free-form according to the invention a compensation of interface

Augenfehlern erfolgt . Eye defects occurs. Die Beobachtung, Vermessung und Dokumentation des Auges sowie die Applikation von Therapiestrahlung in das Auge mittels ophthalmologischen Diagnose- und Therapiegeräten kann somit wesentlich verbessert werden. The observation, measurement and documentation of the eye as well as the application of radiation therapy to the eye by means of ophthalmic diagnostic and therapeutic devices can thus be substantially improved. Eine vorteilhafte Ausführung ist die Realisierung einer hochauflösenden . An advantageous embodiment is the realization of a high resolution. Funduskamera . Fundus camera. Die mikrostrukturierte Ausformung des Elektrodenschemas ist so gestaltet, daß höhere Aberrationen des optischen Elements gezielt dynamisch und variabel eingestellt werden können. The microstructured shaping of the electrodes scheme is designed so that higher aberrations of the optical element can be selectively adjusted dynamically and variably. Im Sonderfall einer ebenen Grundstruktur ist damit die Herstellung dynamisch variabler refraktiver Mikrooptiken gegeben. In the special case of a flat basic structure manufacturing dynamically variable refractive micro optics so is given.

Die frei formbare Grenzfläche ermöglicht auch den Ersatz von mechanischen Fokussierungen, Objektivrevolvern und Filter-Schwenkeinrichtungen, zum Beispiel in Funduskameras und Spaltlampen. The free-form interface also allows the replacement of mechanical focussing, lens and filter turrets pivot means, for example, in the fundus cameras and slit lamps. Bei letzteren ist es mit einem frei formbaren Strahlprofil möglich, beispielsweise eine ophthalmologische Beleuchtung mit individuell einstellbarem Profil zu realisieren. The latter is possible with a free-form beam profile, for example, to realize an ophthalmic illumination with individually adjustable profile. Ferner ist es in einer anderen Anwendung dank des einstellbaren Strahlprofils möglich, die Aushärtung von flüssigen Kunststoffen individuell zu steuern. Further, in another application, possible thanks to the adjustable beam profile to control the curing of liquid polymers individually.

Weiterhin kann mit einer ophthalmologischen Ausführung gemäß Figur 11 ein Diagnose- oder Therapiestrahl rasterfδrmig abgelenkt und in das Auge appliziert werden. Furthermore, a diagnostic or therapeutic beam can be deflected rasterfδrmig and applied in the eye with an ophthalmic embodiment according to FIG. 11

Eine vorteilhafte Ausführung eines Diagnosegerätes unter An advantageous embodiment of a diagnostic device under

Verwendung der Variablen Optik ist die Realisierung einer Using the variable lens produces a

Scanning-Funduskamera. Scanning fundus camera. Eine vorteilhafte Ausführung eines Therapiegerätes unter Verwendung der variablen Optik ist die Realisierung eines strahlgeführten Lasers zur Ablation von Gewebeteilen des Auges . An advantageous embodiment of a therapeutic device using the variable lens is to realize a jet-guided laser for ablation of tissue parts of the eye.

In dem in der Figur 15 gezeigten Beispiel sind eine Vielzahl von Elektroden 15m alternierend so angesteuert , daß ein gewellte Grenzfläche lim ' bzw. lim" resultiert . Die Periodizität der Grenzflächenwellung, und damit der Abstand a ' bzw. a" von zugehörigen Fokuspunkten 31m' bzw . In the example shown in Figure 15, a plurality of electrodes are 15m alternately driven so that a corrugated interface lim 'and lim "results. The periodicity of the boundary surface waviness, and thus the distance a' and a" of the associated focal points 31m ' or . 31m" in der j eweiligen Fokusebene 29m' bzw. 29m" , wird durch die Periodizität der Ansteuerung (nicht dargestellt) bestimmt . 31m "in the j eweiligen focal plane 29m 'and 29m' is determined (not shown) by the periodicity of the triggering. Die Amplitude der Grenzflächenwellung, und damit der Abstand f bzw. f" der jeweiligen Fokusebene von der variablen Optik Im, wird von der Höhe der angelegten Spannungsdifferenzen bestimmt . The amplitude of the boundary surface waviness, and thus the distance f and f 'the respective focal plane of the optical variable Im is determined by the magnitude of the applied voltage differences.

Mit einer solchen Anordnung ist es möglich, ein variables reguläres oder statistisches Linsenarray mit steuerbarer Brennweite der Einzellinsen und variabler Linsendurchmesser (Auflösung des Arrays) zu realisieren, beispielsweise für einen dynamischen, variablen Shack-Hartmann-Sensor. With such an arrangement, it is possible to realize a variable or random regular lens array with a controllable focal length of the individual lenses and variable lens diameter (resolution of the array), for example for a dynamic, variable Shack-Hartmann sensor.

Durch die erfindungsgemäße variable Optik ist es möglich geworden, mit der Auflösung der Elektrodenanordnung Aberrationen höherer Ordnung auf die dioptrische Grundkorrektur der Wellenfront aufzuprägen. The inventive variable lens, it has become possible to impart to the dissolution of the electrode assembly of higher order on the dioptric base correction of the wavefront aberrations. Dabei kann die Ansteuerung strukturiert erfolgen und an den Zernike Polynomen ausgerichtet sein, welche mathematisch zur Beschreibung von Abbildungsfehlern (Aberrationen) höherer Ordnung dienen. The drive may be patterned and aligned to the Zernike polynomials which mathematically describing aberrations (aberrations) are of higher order.

Mit dieser neuartigen variablen Optik ist man daher in der Lage, mit einem optischen Element eine nahezu beliebige Korrektur der Wellenfront dynamisch einzustellen. With this new variable lens one is therefore able to dynamically adjust virtually any desired correction of the wave front with an optical element.

Die variable Optik läßt sich in beliebige optische Systeme einbringen; The variable lens can be added in any optical systems; zum Beispiel als Teil eines Zoomsystem einer for example as part of a zoom system

Kamera. Camera. Dabei kann man bei einer gegebenen Fokussierung Here, one can at a given focus

( zum Beispiel Sphäre = 10 dpt . ) durch Modifikation der sphärischen Oberfläche eine ideale Asphäre oder aberrationskorrigierte Linse für die konkreten Abbildungsgeometrie einstellen, um eine optimale set (for example, sphere = 10 dpt.) by modification of the spherical surface or aspherical surface is an ideal aberration-corrected lens for the specific imaging geometry, an optimum

Abbildungsqualität zu erzielen. to achieve image quality. Dies ist infolge der dynamischen und variablen Eigenschaften der erfindungsgemäßen Optik für beliebige Abbildungsgeometrien einstellbar. This can be adjusted due to the dynamic and variable characteristics of the optics of the invention for any imaging geometries.

Zusammengefaßt stellt die Erfindung ein variables optisches Element bereit, dessen Variabilität wenigstens teilweise auf dem Einfluß eines elektrischen Feldes auf die Grenzfläche eines dielektrischen Fluids zu einem anderen Fluid beruht . In summary, the invention provides a variable optical element prepared, the variability of which at least partly based on the influence of an electric field on the interface of a dielectric fluid to another fluid.

Non-Patent Citations
Reference
1 *See references of WO2006084653A1
Classifications
International ClassificationG02B5/24
Cooperative ClassificationG02B3/14, G01J3/02, G02B26/005, G01J3/0205, G02B26/00, G01J3/12, G02B26/0883, G02B3/0012, G02B3/0075, G02B5/005, G02B27/0025
European ClassificationG02B26/00L, G02B26/00L1, G01J3/02B, G02B5/00D, G02B27/00K, G01J3/12, G01J3/02, G02B26/08R2, G02B3/14, G02B26/00, G02B3/00A1, G02B3/00A5
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24 Oct 200717PRequest for examination filed
Effective date: 20070628
24 Oct 2007AKDesignated contracting states:
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14 Apr 201017QFirst examination report
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11 Feb 201518DDeemed to be withdrawn
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