DE4212779A1 - Laser with e.g. Nd-YAG rod - has liquid crystal cells with control electrodes for applying electric field to regulate laser beam - Google Patents

Laser with e.g. Nd-YAG rod - has liquid crystal cells with control electrodes for applying electric field to regulate laser beam

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Wolfgang Dr Rupp
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Abstract

The laser has a laser source (1), such as an Nd-YAG rod, and a resonator (2,3). One or more liquid crystal cells (10a,b) with control electrodes (101,102,103,104) are arranged flat, in strips, in rings or in a point matrix in the resonator (2,3). The cells (10a,b) are preferably planar parallel lenses. In particular, the device is suitable for a fixed body laser. The crystal cells (10) can form a mirror with the control electrodes (101-104). Asymmetric errors such as those due to thermal lenses can be automatically corrected by spherical or cylindrical compensating lenses. Sensors detect the pump power, temperature, wavefront shape etc. and these are analysed. ADVANTAGE - Compact and simple with minimum number of moving parts. Provides improved beam quality.

Description

Die Erfindung betrifft einen Laser mit einer Laserquelle und einem Resonator und ein Verfahren zum Steuern und Regeln eines Laserstrahls der von einem Laser ausgesandt wird.The invention relates to a laser with a laser source and a resonator and a method for controlling and regulating a laser beam emitted by a laser.

Bekannt ist die Verwendung von elektromechanisch verstellbaren Teleskopen und adaptiven Spiegeln in Laserresonatoren zur Stabilisierung der Phase über den Querschnitt eines Laserstrahls, insbesondere um optimale Fokussierung zu ermöglichen. Zur Feineinstellung von Laserresonatoren ist es bekannt Endspiegel elektromechanisch zu verschieben und Etalons elektromechanisch zu verdrehen. Die elektromechanischen Servos stellen aber einen erheblichen Aufwand dar. Solche Einrichtungen haben daher nur begrenzte Anwendung gefunden.The use of electromechanical is known adjustable telescopes and adaptive mirrors in Laser resonators to stabilize the phase over the Cross section of a laser beam, in particular around optimal To enable focusing. For fine adjustment of Laser resonators, it is known electromechanical end mirror to shift and twist etalons electromechanically. The electromechanical servos, however, represent a considerable one Effort is therefore limited Application found.

Flüssigkristallzellen mit Steuerelektroden sind als Anzeige­ elemente verbreitet.Liquid crystal cells with control electrodes are for display elements spread.

Die Ausbildung als adaptive Linse ist aus P. F. Brinkley et al., Applied Optics 27 (1988), p. 4578-4586 und US 4 572 616, dort mit zwei gekreuzten Zellen mit einseitigen Streifenelektroden, bekannt. Dabei wird die Anwendung zum seitlichen Versatz von Lichtstrahlen beschrieben.The training as an adaptive lens is from P. F. Brinkley et al., Applied Optics 27 (1988), p. 4578-4586 and US 4,572,616, there with two crossed cells with one-sided Strip electrodes, known. The application becomes described lateral displacement of light rays.

Eine Flüssigkristallzelle mit einer ganzflächigen Elektrode und gegenüberliegenden Streifenelektroden ist in US 5 018 838 für die optische räumliche Phasenmodulation beschrieben und für die Verwendung in einem optischen Korrelator vorgesehen.A liquid crystal cell with an all-over electrode and opposite stripe electrodes is in US 5,018,838 for optical spatial phase modulation described and for use in an optical Correlator provided.

In B. Cassarly, J. M. Finlan, SPIE 1043 (1989) , p. 130 ff ist die Verwendung einer derartigen Zelle mit 25 Streifenelektroden oder mit einer zweidimensionalen Elektrodenmatrix für die Phasenkontrolle von kohärenten Laserdioden-Arrays beschrieben.In B. Cassarly, J.M. Finlan, SPIE 1043 (1989), p. 130 ff  the use of such a cell at 25 Strip electrodes or with a two-dimensional Electrode matrix for the phase control of coherent Laser diode arrays described.

Eine linsenförmige Flüssigkristallzelle mit beidseitig flächigen Steuerelektroden nach US 4 037 929 hat eine durch die angelegten Potentiale steuerbare Brennweite.A lenticular liquid crystal cell with bilateral flat control electrodes according to US 4 037 929 has a through the applied potentials controllable focal length.

Eine als Fresnellinse (Zonenplatte oder Phasenverzögerung) ausgebildete Flüssigkristallzelle mit ringförmigen oder streifenförmigen Elektroden ein- oder beidseitig ist aus US 4 909 626 bekannt und wird dort für ein Spektrometer und einen Wellenfrontsensor eingesetzt.One as a Fresnel lens (zone plate or phase delay) trained liquid crystal cell with annular or strip-shaped electrodes on one or both sides is off US 4 909 626 and is there for a spectrometer and used a wavefront sensor.

Ein adaptives Verzögerungsplättchen aus einer Flüssig­ kristallzelle mit flächigen Steuerelektroden ist aus DE-U 89 05 406 bekannt.An adaptive delay plate from a liquid crystal cell with flat control electrodes is off DE-U 89 05 406 known.

Keiner der genannten Veröffentlichungen ist ein Hinweis auf eine Verbindung von gesteuerten Flüssigkristallzellen mit Laserresonatoren zu entnehmen.None of the publications mentioned is an indication of a connection of controlled liquid crystal cells with To see laser resonators.

Der zitierte Stand der Technik ist Teil der Offenbarung dieser Patentanmeldung und enthält Informationen zur Realisierung von Flüssigkristallzellen, welche für die erfindungsgemäße Anordnung brauchbar sind.The cited prior art is part of the disclosure this patent application and contains information on Realization of liquid crystal cells, which for the Arrangement according to the invention are useful.

Es ist die Aufgabe der Erfindung, Laser mit verbesserter Strahlqualität anzugeben, ohne bewegte Teile zu verwenden.It is the object of the invention to provide improved lasers Specify beam quality without using moving parts.

Die Erfindung geht aus von der Erkenntnis, daß Flüssigkristallzellen mit Steuerelektroden unschwer so ausgebildet werden können, daß insbesondere ihre Transmission bei der Laserwellenlänge groß genug gemacht werden kann, daß sie im Resonator eines Lasers angeordnet werden können, ohne die Resonatorgüte wesentlich zu verschlechtern.The invention is based on the knowledge that Liquid crystal cells with control electrodes easily so can be trained that in particular their transmission can be made large enough at the laser wavelength that  they can be placed in the resonator of a laser without to deteriorate the resonator quality significantly.

Die wesentliche zeitlich veränderliche Störung eines Laser­ resonators, die also nicht durch stationäre Maßnahmen korri­ giert werden kann, ist die thermische Linse, die insbesondere bei Festkörperlasern durch die Erwärmung des Laserstabs, aber auch anderer Elemente, durch Pumplicht und Laserlicht erzeugt wird. Diese Deformationen sind nach Größe, Form und Zeitver­ halten so, daß sie durch typische Flüssigkristallzellen mit Steuerelektroden als adaptive Linsen gut korrigiert werden können. Eine Anordnung außerhalb des Resonators kann zwar die Wellenfront des Laserlichts verbessern, nicht aber die durch die Störung des Resonators bedingten Leistungsverluste und Störungen der Modenverteilung des Laserlichts.The essential time-varying disturbance of a laser resonators, which do not corri by stationary measures is the thermal lens, which in particular in solid-state lasers by heating the laser rod, however also other elements, generated by pump light and laser light becomes. These deformations are based on size, shape and time hold so that with typical liquid crystal cells Control electrodes can be corrected as adaptive lenses can. An arrangement outside the resonator can indeed Improve the wavefront of laser light, but not that through the disturbance of the resonator caused power losses and Disorders of the mode distribution of the laser light.

Die Aufgabe wird also dadurch gelöst, daß bei einem gattungs­ gemäßen Laser im Resonator eine Flüssigkristallzelle mit Steuerelektroden angeordnet wird. Vorteilhaft ist es, wenn die Elektroden streifen-, ring- oder punktförmig auf einer oder zwei Stirnflächen der Flüssigkristallzelle angeordnet sind. Planparallele wie linsenförmige Flüssigkristallzellen finden vorteilhafte Anwendung.The task is thus solved in that at a genus according to the laser in the resonator with a liquid crystal cell Control electrodes is arranged. It is advantageous if the electrodes in strips, rings or dots on one or two end faces of the liquid crystal cell are. Plane parallel as lenticular liquid crystal cells find advantageous application.

Gemäß Anspruch 8 ist die Erfindung besonders für Festkörperlaser geeignet, bei denen die Ausprägung der thermischen Linse deutlich ist. Die Flüssigkristallzelle kann mit den Steuerelektroden einer Seite einen Spiegel bilden. Dann müssen die Elektroden einer Seite und ihre Zuleitungen nicht transparent sein, was z. B. eine zweidimensionale Elektrodenmatrix vereinfacht. Zudem wird die Zahl optischer Grenzflächen im Resonator reduziert. Mehrere Millimeter dickes Glas als Substrat ist bei Flüssigkristallzellen nicht üblich, bietet bei der erfindungsgemäßen Anordnung aber Vorteile für die Präzisionsbearbeitung für den Einsatz im Laserresonator und für die Fassung der Teile. Die Flüssigkristallzelle kann im Laser ohne zusätzliche optische Grenzschichten mit Reflexionsverlusten usw. realisiert werden, indem auf benachbarten optischen Elementen die Steuerelektroden angeordnet werden und dazwischen das Flüssigkristall-Material angeordnet wird. Als optische Elemente kommen dafür u. a. in Frage der Laserstab, Endspiegel, elektrooptische Q-Switch-Kristalle, Frequenzverdoppler-Kristalle und Polarisatoren. Die Flüssigkristallzelle mit Steuerelektroden kann je nach Bedarf als adaptive Linse, als adaptives Phasenschiebeplättchen - z. B. Lambda/4-Plättchen für durchstimmbare Laser - als adaptives Etalon oder als Einrichtung zur Änderung der optischen Länge und damit zur Feinabstimmung des Resonators mit Vorteil eingesetzt werden. Diese Funktionen sind auch in einer einzigen Flüssigkristallzelle durch die Art der An­ steuerung kombinierbar.According to claim 8, the invention is particularly for Solid-state lasers are suitable, in which the expression of the thermal lens is clear. The liquid crystal cell can form a mirror with the control electrodes on one side. Then the electrodes of one side and their leads not be transparent what z. B. a two-dimensional Electrode matrix simplified. The number is also becoming more visual Interfaces in the resonator reduced. Several millimeters Thick glass as a substrate is not in liquid crystal cells usual, but offers in the arrangement according to the invention Advantages for precision machining for use in  Laser resonator and for mounting the parts. The Liquid crystal cell can be used in the laser without additional optical Boundary layers with reflection losses, etc. realized be by the on adjacent optical elements Control electrodes are arranged and in between the Liquid crystal material is arranged. As an optical Elements come for it. a. in question the laser rod, End mirror, electro-optical Q-switch crystals, Frequency doubler crystals and polarizers. The Liquid crystal cell with control electrodes can be used as needed as an adaptive lens, as an adaptive phase shift plate - e.g. B. Lambda / 4 plates for tunable lasers - as adaptive etalon or as a facility for changing the optical length and thus for fine tuning of the resonator can be used with advantage. These functions are also in a single liquid crystal cell by the type of An control can be combined.

Der erfindungsgemäße Laser kann nach Anspruch 16 hervorragend mit einer Regeleinrichtung zur automatischen Fehlerkorrektur versehen werden, wobei durch Sensoren z. B. die Pumpleistung, Temperaturen von ausgewählten Stellen des Lasers, die Laserleistung oder die Form der Wellenfront - durch Interferometer oder Hartmann-Sensoren - erfaßt und in einem Regelkreis ausgewertet werden. Die Anordnung mehrerer Flüssigkristallzellen mit Steuerelektroden im Resonator ist z. B. vorteilhaft zur Darstellung einer sphärischen Linse aus zwei gekreuzten Elementen mit Streifenelektroden.The laser according to the invention can be excellent according to claim 16 with a control device for automatic error correction be provided, with sensors such. B. the pump power, Temperatures from selected locations on the laser Laser power or the shape of the wavefront - through Interferometer or Hartmann sensors - recorded and in one Control loop can be evaluated. The arrangement of several Liquid crystal cells with control electrodes in the resonator e.g. B. advantageous to represent a spherical lens two crossed elements with strip electrodes.

Das zur Lösung der Aufgabe geeignete Verfahren besteht darin, bei einem erfindungsgemäßen Laser an die Flüssigkristallzelle mittels der Steuerelektroden ein elektrisches Feld anzulegen. Die erforderlichen Spannungen liegen typisch unter 10 V und die möglichen Steuerfrequenzen erreichen den Kilohertz- Bereich.The appropriate method to accomplish the task is in a laser according to the invention to the liquid crystal cell to create an electric field by means of the control electrodes. The required voltages are typically below 10 V and the possible control frequencies reach the kilohertz Area.

Näher beschrieben wird die Erfindung im weiteren anhand der Zeichnung mit den folgenden Figuren:The invention is described in more detail below with the aid of Drawing with the following figures:

Fig. 1 Laser mit Laserstab, zwei Resonatorspiegeln, zwei Flüssigkristallzellen mit Steuerelektroden, Polari­ sationsfilter, Pumplichtquelle, Wellenfrontsensor und Regelschaltung schematisch; Fig. 1 laser with laser rod, two resonator mirrors, two liquid crystal cells with control electrodes, polarization filter, pump light source, wavefront sensor and control circuit schematically;

Fig. 2 Laser mit gefaltetem Resonator und Flüssig­ kristallzelle mit Steuerelektroden als Umlenk­ spiegel, Temperatursensor am Laserstab und Regel­ schaltung schematisch; Fig. 2 laser with folded resonator and liquid crystal cell with control electrodes as deflection mirror, temperature sensor on the laser rod and control circuit schematically;

Fig. 3 Laser, bei dem die Flüssigkristallzelle unmittelbar zwischen Laserstab und einem Endspiegel integriert ist und plankonvexe Form hat. Fig. 3 laser, in which the liquid crystal cell is integrated directly between the laser rod and an end mirror and has plano-convex shape.

Fig. 1 zeigt einen Laser mit einem Laserstab (1), z. B. aus Nd-YAG mit zwei Endspiegeln (2) und (3), die den Resonator bilden. Der Laserstab (1) wird durch eine Pumplichtquelle (4) bestehend aus Entladungslampe und Spiegel optisch gepumpt. Ein Polarisationsfilter (5) im Resonator (2, 3) ist darge­ stellt stellvertretend für bedarfsweise in Lasern eingesetzte optische Elemente wie auch Etalon, Frequenzverdoppler u. a. Erfindungsgemäß sind im Resonator (2, 3) Flüssigkristall­ zellen (10a, 10b) mit transparenten Steuerelektroden (101, 102, 103 u. 104) angeordnet. Die in diesem Beispiel darge­ stellte Anordnung mit zwei Flüssigkristallzellen (10a, 10b) mit je einer flächigen Steuerelektrode (101, 104) und zwei Streifenelektroden (102, 103) in gekreuzter Anordnung ergibt zwei Zylinderlinsen mit zueinander senkrechten Zylinder­ achsen, die zusammen eine sphärische Linse bilden können. Die Anordnung und die Ausführung dieser Flüssigkristallzellen (10a, 10b) mittels Steuerelektroden (101-104) ist an sich aus dem zitierten Stand der Technik, insbesondere US 4 572 616, bekannt. Durch geeignete Wahl der Potentialdifferenzen zwischen den einzelnen Elementen der Steuerelektroden (101-104) können jedoch auch von der sphärischen Linse in weiten Grenzen abweichende Deformationen der Wellenfront bewirkt bzw. kompensiert werden. Fig. 1 shows a laser with a laser rod ( 1 ), for. B. from Nd-YAG with two end mirrors ( 2 ) and ( 3 ) that form the resonator. The laser rod ( 1 ) is optically pumped by a pump light source ( 4 ) consisting of a discharge lamp and mirror. A polarization filter ( 5 ) in the resonator ( 2 , 3 ) is representative of optical elements used in lasers, as well as etalon, frequency doublers, etc. According to the invention, liquid crystal cells ( 10 a, 10 b) with transparent control electrodes are in the resonator ( 2 , 3 ) ( 101 , 102 , 103 and 104 ). The Darge presented in this example arrangement with two liquid crystal cells ( 10 a, 10 b), each with a flat control electrode ( 101 , 104 ) and two strip electrodes ( 102 , 103 ) in a crossed arrangement results in two cylindrical lenses with mutually perpendicular cylinder axes, which together form one can form spherical lens. The arrangement and design of these liquid crystal cells ( 10 a, 10 b) by means of control electrodes ( 101-104 ) is known per se from the cited prior art, in particular US Pat. No. 4,572,616. By suitable selection of the potential differences between the individual elements of the control electrodes ( 101-104 ), however, deformations of the wavefront which deviate from the spherical lens can also be effected or compensated for within wide limits.

Für den Einsatz in dem Laserresonator (2, 3), ist darauf zu achten, daß die Flüssigkristallzellen (10a, 10b) mit den Steuerelektroden (101-104) für die hohe Licht-Leistungsdichte geeignet sind und daß die Resonatorgüte durch Reflexionen an den Grenzschichten der Bauteile und durch Absorption z. B. durch die Elektroden nicht zu sehr herabgesetzt wird. Eine geeignete Flüssigkristallzelle (10a) besteht z. B. aus einem handelsüblichen Flüssigkristall mit der Brechzahldifferenz Δn = 0,25 z. B. der Firma BDH in einer homogenen Schichtdicke von 15 µm.For use in the laser resonator ( 2 , 3 ), it must be ensured that the liquid crystal cells ( 10 a, 10 b) with the control electrodes ( 101-104 ) are suitable for the high light power density and that the resonator quality is due to reflections the boundary layers of the components and absorption z. B. is not reduced too much by the electrodes. A suitable liquid crystal cell ( 10 a) z. B. from a commercially available liquid crystal with the refractive index difference Δn = 0.25 z. B. the company BDH in a homogeneous layer thickness of 15 microns.

Die transparenten Steuerelektroden (101, 102) bestehen aus der als ITO bekannten Indium-Zinn-Oxid-Schicht, welche z. B. die Firma Balzers auf ein mit einer SiO-Schicht - als Antireflexschicht für das Laserlicht und als Diffusionssperre zum Schutz des Flüssigkristalls vor Ionen aus dem Glas - beschichtetes Substrat aus Optik-Glas der Sorte BK7 aufbringt. Hat die als Substrat dienende planparallele Platte eine Dicke von z. B. 7 mm, so läßt sie sich besonders präzise bearbeiten und ist sehr stabil, so daß die Montage vereinfacht und die Resonatorgüte nur unwesentlich beeinträchtigt wird.The transparent control electrodes ( 101 , 102 ) consist of the indium tin oxide layer known as ITO, which z. B. the company Balzers on a with a SiO layer - as an anti-reflective layer for laser light and as a diffusion barrier to protect the liquid crystal from ions from the glass - coated substrate made of BK7 type optical glass. Has the plane-parallel plate serving as a substrate a thickness of z. B. 7 mm, it can be processed particularly precisely and is very stable, so that the assembly is simplified and the resonator quality is only slightly affected.

Eine Streifenelektrode (102) hat vorteilhaft eine Gitterkonstante von a = 70 µm bei einem Isolierspalt zwischen den Streifen von 1,5 µm. Mit 60 Streifen der Steuerelektrode (102) ergibt sich dann ein Aperturradius L = 2 mm. A strip electrode ( 102 ) advantageously has a lattice constant of a = 70 μm with an insulating gap between the strips of 1.5 μm. With 60 strips of the control electrode ( 102 ), an aperture radius L = 2 mm is obtained.

Der in P. F. Brinkley et al. beschriebene "meshing"-Effekt, eine Glättung des Feldverlaufs im Bereich der isolierenden Lücke zwischen den Streifen der Steuerelektrode (102), wird bei diesen Dimensionen gut verwirklicht.The one described in PF Brinkley et al. The “meshing” effect described, a smoothing of the field profile in the region of the insulating gap between the strips of the control electrode ( 102 ), is achieved well with these dimensions.

Die kleinste Brennweite fmin der Linse, die durch solch eine Flüssigkristallzelle (10a, 10b) mit Steuerelektroden (101, 102, 103, 104) erzeugt werben kann (zylindrisch mit einer Zelle (10a), sphärisch mit beiden Zellen (10a, 10b)), ergibt sich nach der FormelThe minimum focal length f min of the lens (b 10 a, 10) by such a liquid crystal cell having control electrodes (101, 102, 103, 104) can advertise produced (cylindrical with a cell (10 a), spherical with two cells (10 a, 10 b)), results from the formula

mit den obengenannten Formelzeichen und Daten.with the above formula symbols and dates.

Damit ist die Anordnung gut geeignet, die thermische Linse typischer Festkörperlaser, deren typische Brennweite auch größer als 0,5 m ist, zu kompensieren. Mit der erfindungsge­ mäßen Anordnung lassen sich aber zugleich auch hervorragend die thermischen Störungen im Laserresonator, die nicht rota­ tionssymmetrisch sind, z. B. durch asymmetrisches Pumpen, durch geeignete Potentiale an den Steuerelektroden (101-104) ausgleichen.The arrangement is thus well suited to compensating for the thermal lens of typical solid-state lasers, the typical focal length of which is also greater than 0.5 m. With the arrangement according to the invention, however, the thermal disturbances in the laser resonator that are not rotationally symmetrical, eg. B. by asymmetrical pumping, by means of suitable potentials on the control electrodes ( 101-104 ).

Unter dem Aspekt der Korrektur der Phasenfront des Laserstrahls ergibt sich für die größte relative Phasenverschiebung ϕmax bei der Wellenlänge λ=1064 nm eines Nd-YAG-Lasers mit der FormelWith regard to the correction of the phase front of the laser beam, the following results for the largest relative phase shift ϕ max at the wavelength λ = 1064 nm of an Nd-YAG laser with the formula

ein beträchtlich großer Wert, der viele Nutzanwendungen eröffnet.a considerably great value that many utility applications opened.

Fig. 1 zeigt weiterhin im ausgehenden Laserstrahl einen Teilerspiegel (6), der einen Teil des Lichts auf einen Wellenfrontdetektor (7) lenkt. Der Wellenfrontdetektor (7) kann ein "radial shearing"-Interferometer oder ein Array von Hartmann-Sensoren sein. Dessen Meßdaten werden in einer Regelelektronik (8), die auch einen Prozeßrechner umfassen kann, in die geeigneten Steuerspannungen für die Steuerelektroden (101-104) umgewandelt, mit denen die Wellenfront des Lichts des Lasers stabil geregelt werden kann. Fig. 1 also shows in the outgoing laser beam a splitter mirror ( 6 ) which directs part of the light onto a wavefront detector ( 7 ). The wavefront detector ( 7 ) can be a "radial shearing" interferometer or an array of Hartmann sensors. The measurement data are converted in a control electronics ( 8 ), which can also include a process computer, into the suitable control voltages for the control electrodes ( 101-104 ), with which the wavefront of the light from the laser can be stably controlled.

Bei einfacheren Anforderungen, wenn z. B. nur die einfache thermische Linse des Laserstabs (1) korrigiert werden soll, kann als Detektor (7) auch ein Leistungsdetektor genügen. Sollen sich wiederholende Abläufe, z. B. das thermische Einspielen beim Einschalten des Lasers, korrigiert werden, so kann die Regelung mit dem aufwendigen "radial-shearing"- Interferometer (7) einmal über den Einschaltvorgang hinweg durchgeführt werden und die Steuerparameter können abgespeichert werden, um dann im Regelbetrieb bei jedem Ein­ schalten aus dem Speicher eine Steuerung durchzuführen.For simpler requirements, e.g. B. only the simple thermal lens of the laser rod ( 1 ) is to be corrected, a power detector can also suffice as a detector ( 7 ). Should repetitive processes, e.g. B. the thermal import when switching on the laser can be corrected, the control with the complex "radial shearing" interferometer ( 7 ) can be carried out once over the switch-on process and the control parameters can be saved, in order to then be used in regular operation for everyone Switch on to perform a control from the memory.

Fig. 2 zeigt eine andere Variante. Laserstab (1) und Resonator-Spiegel (2) und (3) bilden einen gefalteten Resonator, wobei die rückseitige Steuerelektrode (102) an der Flüssigkristallzelle (10), die auf der Vorderseite die trans­ parente flächige Steuerelektrode (101) trägt, als Umlenk­ spiegel dient. Gepumpt wird hier der Laser durch eine end­ seitig hinter dem Spiegel (2), der für das Pumplicht durch­ lässig ist, angeordnete Pumplichtquelle (42). Fig. 2 shows another variant. Laser rod ( 1 ) and resonator mirror ( 2 ) and ( 3 ) form a folded resonator, the rear control electrode ( 102 ) on the liquid crystal cell ( 10 ), which carries the transparent planar control electrode ( 101 ) on the front, as a deflection mirror serves. The laser is pumped here by a pump light source ( 42 ) arranged behind the mirror ( 2 ), which is transparent to the pump light.

Bei dieser Anordnung braucht bei der Steuerelektrode (102), die in viele einzelne Steuerbereiche aufgeteilt ist, nicht auf eine transparente Ausführung Wert gelegt zu werden. Damit wird z. B. eine als Pumpmatrix oder mit Elektrodenringen (für Fresnel-Linsen) aufgebaute Steuerelektrode (102) unproblematisch, da Zuleitungen oder Ansteuertransistoren für die einzelnen Elemente der Steuerelektrode (102) frei ausgebildet werden können. Vorteilhaft ist diese Anordnung der Flüssigkristallzelle (10) insbesondere, wenn im Laser ohnehin ein Umlenkspiegel benötigt wird.With this arrangement, the control electrode ( 102 ), which is divided into many individual control areas, does not need to be designed to be transparent. So that z. B. a control electrode ( 102 ) constructed as a pump matrix or with electrode rings (for Fresnel lenses) is unproblematic since supply lines or control transistors for the individual elements of the control electrode ( 102 ) can be formed freely. This arrangement of the liquid crystal cell ( 10 ) is particularly advantageous if a deflection mirror is required anyway in the laser.

Die Steuerelektronik (8), welche die Spannung für die Steuerelektroden (101, 102) erzeugt, erhält hier von einem Temperatursensor (9) am Laserstab (1) Eingangssignale, mit welchen eine automatische Regelung der Spannung und damit der optischen Korrekturwirkung der Flüssigkristallzelle (10) möglich wird. Alternativ könnte der Sensor (9) z. B. auch die Leistung der Pumplichtquelle (42), die den Laserstab (1) erreicht, erfassen. In beiden Fällen kann so eine kostengünstige Regelung erreicht werden. Zur Erstellung der Kennlinien für die Spannungen kann die aufwendige Meßwertgewinnung mit einem Wellenfrontsensor genutzt werden und dann eine Abspeicherung in Abhängigkeit von den Daten des einfachen Sensors ausgeführt werden.The control electronics ( 8 ), which generate the voltage for the control electrodes ( 101 , 102 ), receive input signals from a temperature sensor ( 9 ) on the laser rod ( 1 ) with which the voltage and thus the optical correction effect of the liquid crystal cell ( 10 ) becomes possible. Alternatively, the sensor ( 9 ) z. B. also detect the power of the pump light source ( 42 ) that reaches the laser rod ( 1 ). In both cases, cost-effective regulation can be achieved. To create the characteristic curves for the voltages, the elaborate acquisition of measured values with a wavefront sensor can be used and then saved depending on the data of the simple sensor.

Fig. 3 zeigt einen Laser, bei dem besonders wenige optische Grenzflächen realisiert sind. Ein Spiegel (2) ist direkt als Dünnschicht auf einem Ende des Laserstabs (1) aufgebracht, der durch diesen dichroitischen Spiegel hindurch von der Pumplichtquelle (42) gepumpt wird. Der zweite Spiegel (3) ist zugleich eine Steuerelektrode (102) und auf einem Glassubstrat (31) aufgebracht. Die Steuerelektrode (101) ist direkt als dünne transparente ITO-Schicht auf dem anderen Ende des Laserstabs (1) aufgebracht, und die Flüssigkristallzelle (10) füllt den geringen Zwischenraum aus. Auf eigene Substrate für die Steuerelektroden (101, 102) ist also verzichtet worden, es werden direkt die Grenzflächen benachbarter optischer Elemente genutzt. Dargestellt ist die Steuerelektrode (102) bzw. der Spiegel (3) sphärisch konkav, beide Steuerelektroden (101, 102) sind vollflächig ausgeführt. Die Flüssigkristallzelle (10) ist damit eine plankonvexe Linse steuerbarer Brennweite, die durch die Steuerspannung der Steuerelektronik (8) gesteuert wird. Die sphärische, thermische Linse des Laserstabs (1) kann damit einfach korrigiert werden. Fig. 3 shows a laser in which particularly few optical interfaces are realized. A mirror ( 2 ) is applied directly as a thin layer on one end of the laser rod ( 1 ), which is pumped through this dichroic mirror by the pump light source ( 42 ). The second mirror ( 3 ) is at the same time a control electrode ( 102 ) and applied to a glass substrate ( 31 ). The control electrode ( 101 ) is applied directly as a thin transparent ITO layer on the other end of the laser rod ( 1 ), and the liquid crystal cell ( 10 ) fills the small space. Separate substrates for the control electrodes ( 101 , 102 ) have therefore been dispensed with; the interfaces of adjacent optical elements are used directly. The control electrode ( 102 ) or the mirror ( 3 ) is shown as spherically concave, both control electrodes ( 101 , 102 ) are of full surface design. The liquid crystal cell ( 10 ) is thus a plano-convex lens of controllable focal length, which is controlled by the control voltage of the control electronics ( 8 ). The spherical, thermal lens of the laser rod ( 1 ) can thus be easily corrected.

Wird die Flüssigkristallzelle (10) mit planparallelen Steuer­ elektroden (101, 102) versehen, dann kann durch die Steuer­ elektronik (8) einfach die Länge des Resonators abgestimmt werden.If the liquid crystal cell ( 10 ) is provided with plane-parallel control electrodes ( 101 , 102 ), then the length of the resonator can easily be adjusted by the control electronics ( 8 ).

Werden in der Fig. 1 die Steuerelektroden (101) und (102) oder nahegelegene parallele Flächen, z. B. die Substratrückseiten, geeignet verspiegelt so hat man im Resonator ein Etalon, das durch Anlegen von Spannungen von ca. 0-10 Volt an die Steuerelektroden (101) und (102) der Flüssigkristallzelle (10a) durchgestimmt werden kann.Are shown in FIG. 1, the control electrode (101) and (102) or nearby parallel surfaces, z. B. the back of the substrate, suitably mirrored so you have an etalon in the resonator, which can be tuned by applying voltages of about 0-10 volts to the control electrodes ( 101 ) and ( 102 ) of the liquid crystal cell ( 10 a).

Die Figuren stellen vereinfachte Beispiele erfindungsgemäßer Laser dar, deren einzelne Merkmale untereinander, aber auch mit anderen Ausführungen, in weitem Rahmen kombinierbar sind.The figures represent simplified examples of the invention Lasers represent their individual characteristics among themselves, but also with other designs, can be combined in a wide range.

Claims (18)

1. Laser mit einer Laserquelle (1) und einem Resonator (2, 3), gekennzeichnet durch eine im Resonator (2, 3) angeordnete Flüssigkristallzelle (10) mit Steuerelektroden (101, 102).1. Laser with a laser source ( 1 ) and a resonator ( 2 , 3 ), characterized by a arranged in the resonator ( 2 , 3 ) liquid crystal cell ( 10 ) with control electrodes ( 101 , 102 ). 2. Laser nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Streifenelektroden (102, 103).2. Laser according to claim 1, characterized by strip electrodes ( 102 , 103 ). 3. Laser nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch Ringelektroden.3. Laser according to claim 1, characterized by Ring electrodes. 4. Laser nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Punktmatrix von Elektroden.4. Laser according to claim 1, characterized by a Dot matrix of electrodes. 5. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß beidseitig die Steuerelektroden (101, 102) aus mehreren einzeln ansteuerbaren Teilen bestehen.5. Laser according to at least one of claims 1-4, characterized in that the control electrodes ( 101 , 102 ) consist of a plurality of individually controllable parts on both sides. 6. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-5, gekennzeichnet durch eine planparallele Flüssigkristallzelle (10).6. Laser according to at least one of claims 1-5, characterized by a plane-parallel liquid crystal cell ( 10 ). 7. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-5, gekennzeichnet durch eine linsenförmige Flüssigkristallzelle (10) (Fig. 3).7. Laser according to at least one of claims 1-5, characterized by a lenticular liquid crystal cell ( 10 ) ( Fig. 3). 8. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-7, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserquelle (1) ein Festkörper ist.8. Laser according to at least one of claims 1-7, characterized in that the laser source ( 1 ) is a solid. 9. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallzelle (10) mit den Steuerelektroden (102) einer Seite einen Umlenkspiegel bildet (Fig. 2).9. Laser according to at least one of claims 1-8, characterized in that the liquid crystal cell ( 10 ) with the control electrodes ( 102 ) forms a deflection mirror on one side ( Fig. 2). 10. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuerelektroden (101, 102, 103, 104) der Flüssigkristallzelle (10a, b) auf Substraten aus optischem Glas von mehreren Millimetern Dicke aufgebracht sind.10. Laser according to at least one of claims 1-9, characterized in that the control electrodes ( 101 , 102 , 103 , 104 ) of the liquid crystal cell ( 10 a, b) are applied to substrates made of optical glass of several millimeters in thickness. 11. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallzelle (10) unmittelbar zwischen zwei optischen Elementen (1, 3) des Lasers eingefügt ist und die Steuerelektroden (101, 102) auf den benachbarten optischen Elementen (1, 3) angeordnet sind (Fig. 3).11. Laser according to at least one of claims 1-9, characterized in that the liquid crystal cell ( 10 ) is inserted directly between two optical elements ( 1 , 3 ) of the laser and the control electrodes ( 101 , 102 ) on the adjacent optical elements ( 1 , 3 ) are arranged ( Fig. 3). 12. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallzelle (10) mit den Steuerelektroden (101, 102) eine adaptive Linse ist.12. Laser according to at least one of claims 1-11, characterized in that the liquid crystal cell ( 10 ) with the control electrodes ( 101 , 102 ) is an adaptive lens. 13. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallzelle (10) mit den Steuerelektroden (101, 102) ein adaptives Phasenschiebe­ plättchen ist.13. Laser according to at least one of claims 1-11, characterized in that the liquid crystal cell ( 10 ) with the control electrodes ( 101 , 102 ) is an adaptive phase shift plate. 14. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallzelle (10) mit den Steuerelektroden (101, 102) ein adaptives Etalon ist.14. Laser according to at least one of claims 1-11, characterized in that the liquid crystal cell ( 10 ) with the control electrodes ( 101 , 102 ) is an adaptive etalon. 15. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, daß die Flüssigkristallzelle (10) mit den Steuerelektroden (101, 102) eine Einrichtung zur Änderung der optischen Länge des Resonators ist.15. Laser according to at least one of claims 1-11, characterized in that the liquid crystal cell ( 10 ) with the control electrodes ( 101 , 102 ) is a device for changing the optical length of the resonator. 16. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-15, gekennzeichnet durch eine Regeleinrichtung (7, 8), die Betriebsparameter des Lasers oder Qualitätsparameter des Laserstrahls erfaßt und davon abhängig die Steuerelektroden (101, 102) der Flüssigkristallzelle (10) steuert.16. Laser according to at least one of claims 1-15, characterized by a control device ( 7 , 8 ) which detects operating parameters of the laser or quality parameters of the laser beam and controls the control electrodes ( 101 , 102 ) of the liquid crystal cell ( 10 ) as a function thereof. 17. Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-16, dadurch gekennzeichnet, daß zusätzlich eine oder mehrere Flüssigkristallzellen (10b) mit Steuerelektroden (103, 104) mit den kennzeichnenden Merkmalen mindestens eines der Ansprüche 1-16 im Resonator (2, 3) angeordnet sind (Fig. 1).17. Laser according to at least one of claims 1-16, characterized in that in addition one or more liquid crystal cells ( 10 b) with control electrodes ( 103 , 104 ) with the characterizing features of at least one of claims 1-16 in the resonator ( 2 , 3 ) are arranged ( Fig. 1). 18. Verfahren zum Steuern und Regeln eines Laserstrahls, der von einem Laser nach mindestens einem der Ansprüche 1-17 emittiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß an die Flüssigkristallzelle (10) mittels der Steuerelektroden (101, 102) ein elektrisches Feld angelegt wird.18. A method for controlling and regulating a laser beam emitted by a laser according to at least one of claims 1-17, characterized in that an electric field is applied to the liquid crystal cell ( 10 ) by means of the control electrodes ( 101 , 102 ).
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4331979A1 (en) * 1993-09-21 1995-03-23 Gregor Angelow Method for producing a predeterminable light distribution with a scattering body, method for producing the scattering bodies and scattering body
DE4428194A1 (en) * 1994-08-09 1996-02-15 Rofin Sinar Laser Gmbh Laser system with a compensated mirror optic
DE19623270A1 (en) * 1996-06-11 1998-01-15 Juergen Rebel Adaptive optical laser imaging apparatus for information recording
EP0829745A1 (en) * 1996-09-17 1998-03-18 Thomson-Csf Lightbeam control system
FR2791186A1 (en) * 1999-03-16 2000-09-22 Thomson Csf High power laser source includes phase plate with specific profile to correct phase shifts arising from thermal gradients
EP1220389A1 (en) * 2001-09-07 2002-07-03 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) Optical path length variation for laser influencing
DE102010048294A1 (en) * 2010-10-14 2012-04-19 Deutsch-Französisches Forschungsinstitut Saint-Louis Laser arrangement with a phase front control

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4331979A1 (en) * 1993-09-21 1995-03-23 Gregor Angelow Method for producing a predeterminable light distribution with a scattering body, method for producing the scattering bodies and scattering body
US5751750A (en) * 1994-08-09 1998-05-12 Rofin-Sinar Laser Gmbh Laser system and method with thermally compensated optics
DE4428194C2 (en) * 1994-08-09 1998-02-12 Rofin Sinar Laser Gmbh Laser system with a compensated mirror optic
DE4428194A1 (en) * 1994-08-09 1996-02-15 Rofin Sinar Laser Gmbh Laser system with a compensated mirror optic
DE19623270A1 (en) * 1996-06-11 1998-01-15 Juergen Rebel Adaptive optical laser imaging apparatus for information recording
DE19623270C2 (en) * 1996-06-11 1998-05-20 Juergen Rebel Adaptive optical imaging system for imaging a beam of rays emitted by a laser
EP0829745A1 (en) * 1996-09-17 1998-03-18 Thomson-Csf Lightbeam control system
FR2753544A1 (en) * 1996-09-17 1998-03-20 Thomson Csf LIGHT BEAM CONTROL SYSTEM
US5994687A (en) * 1996-09-17 1999-11-30 Thomson-Csf System for correction the shape of a wave-front of a laser beam
FR2791186A1 (en) * 1999-03-16 2000-09-22 Thomson Csf High power laser source includes phase plate with specific profile to correct phase shifts arising from thermal gradients
EP1220389A1 (en) * 2001-09-07 2002-07-03 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) Optical path length variation for laser influencing
DE102010048294A1 (en) * 2010-10-14 2012-04-19 Deutsch-Französisches Forschungsinstitut Saint-Louis Laser arrangement with a phase front control
DE102010048294B4 (en) * 2010-10-14 2021-02-18 Deutsch-Französisches Forschungsinstitut Saint-Louis Laser arrangement with a phase front control

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