DE10140608A1 - Vorrichtung zur Justage eines optischen Elements - Google Patents

Vorrichtung zur Justage eines optischen Elements

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Abstract

Eine Vorrichtung dient zur Justage eines optischen Elements (1), insbesondere einer Linse in einem optischen System, insbesondere in einem Projektionsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie. Das optische Element (1) ist über mehrere über den Umfang des optischen Elements (1) verteilte Auflagefüßchen (2) in einer Fassung (3) gelagert und durch Stelleinrichtungen (5) gezielt deformierbar. An wenigstens einem Teil der Auflagefüßchen (2) greifen in einem Bereich des Auflagefüßchens (2) die Stelleinrichtungen (5) in der Art an, daß das jeweilige Auflagefüßchen (2) in Richtung der optischen Achse (7) verschiebbar ist.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Justage eines optischen Elements nach der im Oberbegriff von Anspruch 1 näher definierten Art.
  • Aus der EP 1 014 139 A2 ist ein optisches System für vergleichbare Einsatzzwecke bekannt, bei dem ein optisches Element, insbesondere eine Linse, auf einer Vielzahl von gleichmäßig über den Umfang eines Innenringes bzw. einer Fassung verteilt angeordneten winkelförmigen Auflagefüßchen gelagert ist. Durch diese Auflagefüßchen wird zum einen eine präzise Lagerung und zum anderen eine entsprechende Elastizität zur Einbringung von Deformationen auf die Linse als optisches Element geschaffen. Die Deformationen werden dabei auf einen mit allen Auflagefüßchen verbundenen Innenring einer Fassung aufgebracht und übertragen sich durch die Auflagefüßchen auf den Bereich des optischen Elements.
  • Nachteilig bei dieser Anordnung ist jedoch, daß die gezielte Deformation des optischen Elements dadurch erschwert wird, daß die jeweils ungenügend vorausplanbaren Verformungen des Innenrings die Deformationen beeinflussen, welche auf die Linse übertragen werden sollen. Die Deformationen des Innenrings werden über eine gewisse Anzahl der vorhandenen Auflagefüßchen auf das optische Element weitergegeben. Um das optische Element gezielt zu verformen müßte exakt bekannt sein, wie der Innenring auf die jeweiligen Verformungen reagiert, und wie diese, aus dem Bereich des Innenringes von welchen der Auflagefüßchen, auf das optische Element übertragen werden.
  • Da diese Effekte jedoch nicht mit der erforderlichen Genauigkeit zu berechnen und nicht reproduzierbar zu wiederholen sind, stellt dies bei einem derartigen Aufbau einen Nachteil dar, da die gezielte punktuelle Weitergabe von Deformationen an das optische Element durch den Aufbau in nicht reprodzierbarer Weise beeinträchtigt wird.
  • Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur passiven und aktiven Justage eines optischen Elements zu schaffen, welches neben der erforderlichen präzisen Lagerung und der gleichzeitig gewünschten Elastizität der Lagerung auch das gezielte Einbringen von Deformationen in den Bereich des optischen Elements erlaubt.
  • Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die im kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 genannten Merkmale gelöst.
  • Dadurch, daß die Stelleinrichtungen in dem Bereich des jeweiligen Auflagefüßchens in der Art angreifen, daß sie das Auflagefüßchen selbst verschieben und damit das optische Element deformieren kann ein sehr gezieltes Einbringen der gewünschten Deformationen in das optische Element erreicht werden, ohne daß die häufig nicht reproduzierbaren Effekte, welche beispielsweise bei der Deformation eines Innenrings der Fassung auftreten könnten, auf diesen Vorgang einwirken.
  • So ist es in besonders vorteilhafter Weise möglich, über das Einbringen der Kräfte in die Auflagefüßchen eine Deformation des optischen Elements über eine Kraft zu erreichen, ohne seine Lage dabei zu verändern. Dies wird möglich durch das exakt punktgenaue Angreifen im Bereich der Auflagefüßchen, so daß Deformation und Manipulation kontrollierbar zueinander einjustiert bzw. eingeregelt werden können.
  • In einer besonders günstigen Weiterbildung der Erfindung ist dabei die Anzahl der Auflagefüßchen gegenüber dem Stand der Technik deutlich verringert, da nun die Deformationen über die Auflagefüßchen selbst in das optische Element eingebracht werden, und somit auf eine gleichmäßige Anbindung des optischen Elements an einen die Deformation übertragenden Innenring einer Fassung verzichtet werden kann. Damit wird die Anzahl der Auflagefüßchen (beispielsweise 8, 12 oder 16), welche in ihrer Herstellung und Justage vergleichsweise aufwendig sind, deutlich verringert und die Auflage der Linse, auf insgesamt weniger Auflagefüßchen, wird hinsichtlich der Möglichkeit der aktiven, semi-aktiven und passiven Justage verbessert.
  • Außerdem kann die Vorrichtung so ausgebildet sein, daß in einer besonders günstigen Weiterbildung dieser Idee nur einige der Auflagefüßchen, beispielsweise jedes zweite, oder in einem entsprechenden Winkel zueinander angeordnete Auflagefüßchen, beispielsweise alle 90°, als manipulierbares Auflagefüßchen ausgebildet sind. Damit kann der Aufwand hinsichtlich der Stelleinrichtungen nochmals verringert werden, wobei durch die gezielte Einleitung der Deformation durch das jeweilige Auflagefüßchen selbst die Möglichkeit zur Deformation des optischen Elements gegenüber dem Stand der Technik dennoch verbessert wird, da eine gezieltere Krafteinleitung stattfindet.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den restlichen Unteransprüchen und den Ausführungsbeispielen, welche nachfolgend anhand der Zeichnung erläutert werden.
  • Es zeigt:
  • Fig. 1 eine prinzipmäßige Darstellung eines Aufbaus gemäß der Erfindung mit einer prinzipmäßig angedeuteten Stelleinrichtung;
  • Fig. 2 eine mögliche Ausführungsform einer Stelleinrichtung in einem Aufbau gemäß Fig. 1;
  • Fig. 3 eine alternative Ausführungsform einer Stelleinrichtung in einem Aufbau gemäß Fig. 1;
  • Fig. 4 eine alternative Möglichkeit der Ausgestaltung eines Auflagefüßchens;
  • Fig. 5 eine weitere alternative Ausführungsform der Ausgestaltung eines Auflagefüßchens;
  • Fig. 6 eine vergrößerte Darstellung des Bereichs VI aus Fig. 5;
  • Fig. 7 eine prinzipmäßige Darstellung einer möglichen Anordnung manipulierbarer Auflagefüßchen und feststehender Auflagefüßchen;
  • Fig. 8 eine alternative Möglichkeit zur Anordnung manipulierbarer Auflagefüßchen und feststehender Auflagefüßchen; und
  • Fig. 9 eine weitere alternative Möglichkeit zur Anordnung manipulierbarer Auflagefüßchen und feststehender Auflagefüßchen.
  • Fig. 1 zeigt ein optisches Element 1, hier eine Linse, welche über Auflagefüßchen 2 in einer Fassung 3 gelagert ist. Die Auflagefüßchen 2 sind in etwa L-förmig ausgebildet und an ihrem einen Schenkel 2a mit der Fassung 3 verbunden. Am freien Ende ihres anderen Schenkels 2b weisen sie eine Auflagefläche 4 für das optische Element 1 auf.
  • Die Auflagefüßchen 2 sind in einer vergleichsweise kleinen Wandstärke ausgeführt, so daß sie in sich eine gewisse Elastizität aufweisen, welche eine möglichst ideale und vorerst deformationsfreie Lagerung des optischen Elements 1 in der Fassung 3, wobei das hier als Fassung 3 bezeichnete Bauteil auch lediglich einen gegenüber einem Außenring manipulierbaren Innenring einer Fassung darstellen kann, ermöglicht.
  • Das so vorerst deformationsfrei gelagerte optische Element 1 soll nun entsprechend den Anforderungen des optischen Systems, insbesondere eines Objektivs für die Halbleiter-Lithographie, welches in seiner Gesamtheit nicht dargestellt ist, deformiert werden. Beispielsweise kann es sinnvoll sein, auf das optische Element 1 einen Astigmatismus aufzuprägen. Dazu sind zumindest bei einem Teil der Auflagefüßchen 2 Stelleinrichtungen 5vorgesehen, welche hier durch einen Pfeil prinzipmäßig angedeutet sind.
  • Die Stelleinrichtung 5 ist im Bereich eines Halteelements 6, welches mit der Fassung 3 fest verbunden ist, angeordnet und wirkt so auf den die Auflagefläche 4 aufweisenden Schenkel 2b des Auflagefüßchens 2.
  • Der die Stelleinrichtung 5 symbolisierende Pfeil zeigt dabei in beide Richtungen, wobei im allgemeinen sicherlich je nach Typ der Stelleinrichtung 5 eine Richtung für die Kraftwirkung ausreicht, da die andere Kraftrichtung durch die von dem optischen Element 1 ausgehende Schwerkraft realisiert ist.
  • Wenn nun alle oder zumindest ein Teil der Auflagefüßchen 2 mit einer derartigen Stelleinrichtung 5 versehen sind, so läßt sich das optische Element 1 in diesem Bereich durch die jeweilige Stelleinrichtung 5 in Richtung der optischen Achse 7, was in der Optik im allgemeinen als z-Richtung bezeichnet wird, manipulieren bzw. deformieren.
  • Grundlegend wäre es hier sicherlich wünschenswert, durch eine entsprechende Beaufschlagung der einzelnen Auflagefüßchen 2 mit den entsprechenden Kräften eine ausschließliche Deformation des optischen Elements 1 zu erreichen, ohne daß das optische Element 1 dabei in seiner Lage hinsichtlich der optischen Achse 7 verändert, also manipuliert, wird. Durch die Möglichkeit, die jeweiligen Auflagefüßchen 2 mit der jeweiligen Stelleinrichtung 5 zu versehen und dabei praktisch in jedem Bereich des optischen Elements 1 eine entsprechende Kraftrichtung einleiten zu können, läßt sich eine derartige sinnvolle Deformation des optischen Elements 1 erreichen.
  • Fig. 2 zeigt nun ein konkretes Ausführungsbeispiel für eine der Stelleinrichtungen 5, wie sie oben bereits grundlegend erwähnt wurde.
  • Die Stelleinrichtung 5 ist dabei als pneumatischer oder hydraulischer Aktuator 5a ausgeführt, wird also über einen Druck p betätigt. Als Rückstellkraft wirkt auch hier wieder die von dem optischen Element 1 ausgehende Gewichtskraft.
  • Über eine Veränderung des Drucks p, welcher über eine Zuleitung 8 in dem Halteelement 6 zu einem zwischen dem Halteelement 6 und dem einen Schenkel 2b des Auflagefüßchens 2 angeordneten Faltenbalg 9 geleitet wird, erfolgt das Einbringen der Kraft in das optische Element 1. Je nach eingeleitetem Druck p wird sich eine entsprechende Manipulation des jeweiligen Auflagefüßchens 2 mit dem Aktuator 5a ergeben, welche dann wiederum eine Deformation des optischen Elements 1 in genau dem Bereich, in dem das Auflagefüßchen 2 angeordnet ist, bewirkt.
  • Fig. 3 zeigt eine weitere Möglichkeit die Stelleinrichtung 5 auszuführen.
  • Die Stelleinrichtung 5 besteht in dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel aus einer Stellschraube 10, welche über ein Federelement 11 auf den Schenkel 2b des Auflagefüßchens 2 wirkt. Auch hier wird die Rückstellkraft, gegen die Kraft der Feder, wiederum durch die Gewichtskraft des optischen Elements 1 aufgebracht.
  • Grundlegend wäre es dabei möglich, die Stelleinrichtung 5 in dem hier dargestellten Ausführungsbeispiel lediglich als Justageelement auszuführen, also die Stellschraube 10 zur passiven Justage zu nutzen. Alternativ dazu wäre es selbstverständlich auch hier möglich, die Stellschraube 10 mit einem entsprechenden, beispielsweise motorischen Antrieb zu versehen, um eine semi-aktive Möglichkeit der Justage während dem Betrieb des optischen Systems zu ermöglichen.
  • Fig. 4 zeigt nun eine andere Ausführungsform des Auflagefüßchens 2. Das Auflagefüßchen 2 ist hier einstückig mit der Fassung 3 ausgebildet, was grundlegend auch bei den oben bereits erwähnten Ausführungsbeispielen möglich, dort jedoch nicht notwendig, ist.
  • Das Auflagefüßchen 2 besteht hier aus einem Hebelelement 2c, welches über zwei Festkörpergelenke 12 auf der einen Seite mit der Fassung 3 und auf der anderen Seite mit einem die Auflagefläche 4 tragenden Teil 2d des Auflagefüßchens 2 verbunden ist.
  • Da die Festkörpergelenke 12 um die Breite des Hebelelements 2c voneinander beabstandet sind, ergibt sich die Möglichkeit, bei einer Auslenkung des Hebelelements 2c in einer Richtung senkrecht zur optischen Achse 7 eine Verschiebung des Teils 2d und damit der Auflagefläche 4 in Richtung der optischen Achse 7 zu realisieren.
  • In dem in Fig. 4 dargestellten Ausführungsbeispiel wird dies durch eine Stellschraube 10 als Stelleinrichtung 5 erreicht, welche auf der den Festkörpergelenken 12 abgewandten Seite des Hebelelements 2c angreift. Über die Stellschraube 10 kann eine Bewegung des Hebelelements 2c erreicht werden. Diese Bewegung des Hebelelements 2c überträgt sich durch die Anbindung des Hebelelements 2c mittels den Festkörpergelenken 12 dabei kontrolliert auf das die Auflagefläche 4 tragende Teil 2d der Auflagefüßchen 2, welches damit die Einleitung einer Kraft in das optische Element 1, welche zumindest wenigstens annähernd in Richtung der optischen Achse 7 auf das optische Element 1 verläuft, bewirkt. Die Stellschraube 10 kann dabei selbstverständlich wieder mittels eines Federelements 11 an dem Hebelelement 2c angreifen, was hier jedoch nicht dargestellt ist, oder als pneumatischer bzw. hydraulischer Aktuator ausgebildet sein.
  • Grundlegend wäre es selbstverständlich auch denkbar und sinnvoll, sämtliche Stelleinrichtungen 5 der bisher dargestellten und später noch beschriebenen Ausführungsbeispiele in anderer Form, beispielsweise über Piezoelemente oder Piezostacks, auszuführen.
  • Wie bei dem vorher in Fig. 3 beschriebenen Ausführungsbeispiel ist es auch hier möglich, daß die Stellschraube 10 wiederum über einen motorischen Antrieb oder dergleichen betätigt wird, so daß neben einer reinen passiven Justage auch ein semi- aktives Nachjustieren von Setzeffekten während der Betriebsdauer und gegebenenfalls auch eine aktive Regelung der Deformation des optischen Elements 1 während des eigentlichen Betriebs erfolgen kann.
  • Wie auch bereits bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen wirkt hier die Gewichtskraft des optischen Elements 1 als Rückstellkraft, so daß durch die Gewichtskraft sichergestellt ist, daß das Hebelelement 2c immer gegen seine Stelleinrichtung 5 gedrückt wird, so daß eine unmittelbare Manipulation des Hebelelements 2c möglich ist.
  • Fig. 5 zeigt nun eine weitere Ausführungsform des Auflagefüßchens 2, welche grundlegend dem in Fig. 4 eben beschriebenen Aufbau mit dem Hebelelement 2c entspricht. Das Auflagefüßchen 2 ist dabei jedoch U-förmig ausgebildet, wobei ein Schenkel 2e des U-förmigen Auflagefüßchens 2 mit der Fassung 3 verbunden ist. Diese Verbindung kann entweder wieder als einstückige Ausführung des Auflagefüßchens 2 mit der Fassung 3 realisiert werden oder es ist auch denkbar, daß das Auflagefüßchen 2, wie hier dargestellt, über entsprechende Verbindungstechniken, wie Schweißen, Kleben, Schrauben oder dergleichen, mit der Fassung 3 verbunden wird.
  • Der andere Schenkel 2f des U-förmig ausgebildeten Auflagefüßchens 2 trägt auf seiner einem Bodenelement 2e abgewandten Seite das mit 2d bezeichnete Teil des Auflagefüßchens 2, welches über die Auflagefläche 4 mit dem optischen Element 1 verbunden ist. Um für den nachfolgend noch eingehend erläuterten Betrieb eine definierte Bewegung des Teils 2d des Auflagefüßchens 2 zu schaffen, ist zwischen dem Teil 2d und dem Schenkel 2f des Auflagefüßchens 2 das wenigstens eine Festkörpergelenk 12 angeordnet.
  • Über eine Stellschraube 10, welche zusammen mit einem hier prinzipmäßig angedeuteten motorischen Antrieb 13 die Stelleinrichtung 5 bildet, prinzipiell jedoch auch als an sich bekannter Aktuator 5a ausgebildet sein könnte, ist der Bereich des Bodens 2g des Auflagefüßchens 2 in einer Richtung wenigstens annähernd senkrecht zur optischen Achse 7 verschiebbar. Durch den Aufbau des Auflagefüßchens 2 in seiner U-förmigen Ausführung, welche auch als geschlitzter Hebel gesehen werden kann, kommt es nun zu einer Manipulation des Teils 2d des Auflagefüßchens 2 entgegen der Gewichtskraft des optischen Elements 1.
  • Die Möglichkeiten, welche sich aus dieser Manipulation ergeben, sind dieselben wie die oben bereits beschriebenen.
  • Der in Fig. 5 beschriebene Aufbau zeigt dabei jedoch die Möglichkeit, daß er durch seine Ausführung eine ideale Möglichkeit zum Einbringen einer Übersetzung- bzw. Untersetzungsbewegung des Aktuators 5 auf die Bewegung der Auflagefläche 4 ermöglicht. Gleichzeitig entsteht ein vergleichsweise weicher Aufbau, welcher ohne daß die Stelleinrichtung 5 betrieben wird, eine wenigstens annähernd deformationsfreie Lagerung des optischen Elements 1 in ihrer Ausgangsstellung ermöglicht.
  • Um nun ein Verschieben des optischen Elements 1 in seiner Ebene senkrecht zur optischen Achse 7 zu vermeiden, verfügt das in Fig. 5 dargestellte Auflagefüßchen 2 außerdem über ein Stabilisierungselement 14, welches in der Art einer Membran oder dergleichen ausgebildet ist, so daß es die Bewegung des Auflagefüßchens 2 bzw. der Auflagefläche 4 in Richtung der optischen Achse 7 praktisch nicht beeinträchtigt, eine Bewegung in der Ebene senkrecht dazu jedoch wirkungsvoll unterbindet.
  • Das Stabilisierungselement 14 ist in Fig. 6 nochmals detailliert dargestellt. Die Dicke des Stabilisierungselements 14 ist im Vergleich zu den Dicken der beiden Schenkel 2f, 2e des Auflagefüßchens 2 vergleichsweise dünn ausgeführt und das Stabilisierungselement 14 ist über zwei Festkörpergelenke 12 mit den jeweiligen Schenkeln des Auflagefüßchens 2 verbunden.
  • Dadurch wird erreicht, daß eine Bewegung in Richtung der optischen Achse 7 wenigstens annähernd ungehindert stattfinden kann, während eine Auslenkung des optischen Elements 1 in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse 7 wirkungsvoll unterbunden wird.
  • Die Fig. 7, 8 und 9 zeigen verschiedene Möglichkeiten, derartige über eine Stelleinrichtung 5 manipulierbare Auflagefüßchen 2 alleine oder zusammen mit festen, als nicht mit einer Stelleinrichtung 5 versehenen Auflagefüßchen anzuordnen.
  • Dadurch, daß nun nicht mehr, wie beim Stand der Technik, eine auf den Innenring der Fassung aufgebrachte Deformation möglichst gleichmäßig in das optische Element 1 eingeleitet werden muß, sondern dadurch, daß das Auflagefüßchen 2 selbst manipulierbar ist, um das optische Element 1 gezielt zu deformieren, sind nun bei weitem weniger Auflagefüßchen 2 als beim Stand der Technik erforderlich.
  • In den hier dargestellten Ausführungsbeispielen sind dabei jeweils sechs der Auflagefüßchen 2 dargestellt. Die mit dem Kreuz gekennzeichneten Auflagefüßchen sollen dabei die Auflagefüßchen 2 sein, welche über die entsprechenden Stelleinrichtungen 5 verfügen und damit die Möglichkeit zur Einleitung einer Deformation durch eine in Richtung der optischen Achse 7 wirkende Kraft in das optische Element 1 ermöglichen.
  • Der Aufbau gemäß Fig. 7 erlaubt dreiwellige Deformationen des optischen Elements 1 aufzubringen, während der Aufbau gemäß Fig. 8 die Einleitung eines Astigmatismus in einer Ebene ermöglicht.
  • Fig. 9 zeigt den variabelsten Aufbau, welcher jedoch auch mit dem höchsten Aufwand hinsichtlich der Steuerung der Stelleinrichtungen 5 aufgrund der bei der Herstellung entstehenden Kosten verbunden ist. In diesem Aufbau lassen sich mehrere Deformationen in das optische Element 1 einleiten, welche sich dann in diesem zu den entsprechenden Welligkeiten überlagern.
  • Selbstverständlich wäre es durchaus denkbar, auch eine weitaus höhere Anzahl an festen und/oder manipulierbaren Auflagefüßchen 2', 2 zu realisieren, wobei beispielsweise mit zwölf oder sechzehn manipulierbaren Auflagefüßchen eine Vielzahl von Welligkeiten in dem optischen Element zu erzeugen wären. Insbesondere ist es jedoch sinnvoll, wenn man astigmatische und dreiwellige Verformungen einleiten kann, was sich beispielsweise in einer Anordnung mit acht oder zwölf Auflagefüßchen ideal realisieren läßt. Höherwellige Fehler sind für die Qualität der zu erzielenden optischen Abbildungsqualität häufig von untergeordneter Bedeutung. Der Aufwand an Kosten und Bauteilen ließe sich aus ökonomischer Sicht nur schwer rechtfertigen.

Claims (20)

1. Vorrichtung zur Justage eines optischen Elements, insbesondere einer Linse in einem optischen System, insbesondere in einem Projektionsobjektiv für die Halbleiter-Lithographie, wobei das optische Element über mehrere über den Umfang des optischen Elements verteilt angeordnete Auflagefüßchen in einer Fassung gelagert ist, und wobei das optische Element durch Stelleinrichtungen gezielt deformierbar ist, dadurch gekennzeichnet, daß an wenigstens einem Teil der Auflagefüßchen (2) in einem Bereich des jeweiligen Auflagefüßchens (2) die Stelleinrichtungen (5) in der Art angreifen, daß das jeweilige Auflagefüßchen (2) in Richtung der optischen Achse (7) verschiebbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß durch die Stelleinrichtungen (5) eine Kraft, welche parallel zu der Richtung der optischen Achse (7) verläuft, auf das jeweilige Auflagefüßchen (2) aufbringbar ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Auflagefüßchen (2) L-förmig ausgebildet ist, wobei der eine Schenkel (2a) des Auflagefüßchens (2) an seinem freien Ende mit der Fassung (3) verbunden ist, und wobei im Bereich des freien Endes des anderen Schenkels (2b) eine Auflagefläche (4) für das optische Element (1) angeordnet ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Auflagefüßchen (2), an welchem eine der Stelleinrichtungen (5) angreift, ein in Richtung parallel zu der optischen Achse (7) verlaufendes Hebelelement (2c; 2e; 2f; 2g), eine Auflagefläche (4) für das optische Element (1) und wenigstens einen Gelenkpunkt (12) aufweist, wobei die Stelleinrichtung (5) im Bereich des Hebelelements (2c; 2e; 2f; 2g) in der Art angreift, daß die Auflagefläche (4) in Richtung der optischen Achse (7) verschiebbar ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Auflagefüßchen (2), an welchem eine der Stelleinrichtungen (5) angreift, zwei als Festkörpergelenke (12) ausgebildete Gelenkpunkte aufweist, welche wenigstens annähernd im Bereich einer Ebene angeordnet sind, in welcher auch der Flächenschwerpunkt der Auflagefläche (4) liegt, wobei das eine Ende des Hebelelements (2c) zwischen den beiden Festkörpergelenken (12) angeordnet ist, wobei das eine Festkörpergelenk (12) das Hebelelement (2c) mit der Fassung und das andere Festkörpergelenk (12) das Hebelelement (2c) mit dem Bereich (2d) der Auflagefläche (4) verbindet, und wobei die Stelleinrichtung (5) an dem den Festkörpergelenken (12) abgewandten Ende des Hebelelements (2c) angreift.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Auflagefüßchen (2), an welchem eine der Stelleinrichtungen (5) angreift, U-förmig ausgebildet ist, wobei der eine Schenkel (2e) des Auflagefüßchens (2) mit der Fassung (2) verbunden ist, und wobei der andere Schenkel (2f) über das wenigstens eine Gelenk (12) mit dem Bereich (2d) der Auflagefläche (4) verbunden ist, und wobei der Aktuator (5) in dem einen Boden (2g) des U-förmigen Auflagefüßchens (2) zugewandten Bereich angreift.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß auf der dem Boden (2g) des U-förmigen Auflagefüßchens (2) abgewandten Seite ein Stabilisierungselement (14) zwischen den beiden Schenkeln (2e, 2f) des U-förmigen Auflagefüßchens (2) angeordnet ist, welches mit jeweils einem Festkörpergelenk (12) mit jedem der Schenkel (2e, 2f) verbunden ist, wobei die beiden Festkörpergelenke (12) wenigstens annähernd in einer Ebene angeordnet sind, welche wenigstens annähernd senkrecht zur optischen Achse (7) ausgebildet ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die durch die Stelleinrichtungen (5) auf die jeweiligen Auflagefüßchen (2) ausgeübte Kraft in Richtung senkrecht zur optischen Achse (7) auf den jeweiligen Bereich des Auflagefüßchens wirkt.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Stelleinrichtungen (5) als passiv justierbare Stellmittel (10) ausgebildet sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellmittel als Stellschraube (10) ausgebildet sind.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Stelleinrichtungen (5) als Aktuatoren ausgebildet sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktuatoren (5a) über Getriebeelemente auf das jeweilige Auflagefüßchen wirken.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß das Getriebeelement als Stellschraube (10) ausgebildet ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktuatoren (5a) als elektromotorische Aktuatoren ausgebildet sind.
15. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktuatoren (5a) als Piezoaktuatoren ausgebildet sind.
16. Vorrichtung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Aktuatoren (5a) als pneumatische oder hydraulische Aktuatoren ausgebildet sind.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß feststehende Auflagefüßchen (2') und Auflagefüßchen (2), an welchen jeweils eine der Stelleinrichtungen (5) angreift, abwechselnd angeordnet sind.
18. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß Auflagefüßchen (2'), an welchen eine der Stelleinrichtungen (5) angreift, jeweils in bestimmten Winkeln um das optische Element (1) angeordnet sind, wobei die weiteren Auflagefüßchen als feste Auflagefüßchen (2') ausgebildet sind.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflagefüßchen (2), an welchen jeweils eine der Stelleinrichtungen (5) angreift, in einem Winkel von jeweils 120° zueinander angeordnet sind.
20. Vorrichtung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Auflagefüßchen (2), an welchen jeweils eine der Stelleinrichtungen (5) angreift, in einem Winkel von jeweils 90° zueinander angeordnet sind.
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Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004088383A1 (en) * 2003-03-28 2004-10-14 Bausch & Lomb Incorporated Adjustable lens mount
DE102004018659A1 (de) * 2004-04-13 2005-11-03 Carl Zeiss Smt Ag Abschlussmodul für eine optische Anordnung
DE102005057860A1 (de) * 2005-12-03 2007-06-06 Carl Zeiss Smt Ag Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Halbleiterlithographie
US7369332B2 (en) 2004-04-13 2008-05-06 Carl Zeiss Smt Gmbh Closing module for an optical arrangement
US7457059B2 (en) 2001-08-18 2008-11-25 Carl Zeiss Smt Ag Adjustment arrangement of an optical element
DE102007045975A1 (de) * 2007-09-25 2009-04-09 Carl Zeiss Smt Ag Optische Einrichtung mit einstellbarer Kraftwirkung auf ein optisches Modul
DE102007026753B4 (de) * 2006-10-16 2009-11-26 Christof Burkart Fassung für ein optisches Element bei Halbleiterobjektiven
DE102008032853A1 (de) * 2008-07-14 2010-01-21 Carl Zeiss Smt Ag Optische Einrichtung mit einem deformierbaren optischen Element
DE102009054549A1 (de) 2008-12-11 2010-06-17 Carl Zeiss Smt Ag Gravitationskompensation für optische Elemente in Projektionsbelichtungsanlagen
US7830611B2 (en) 2005-07-25 2010-11-09 Carl Zeiss Smt Ag Projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus
US8528461B2 (en) 2007-08-24 2013-09-10 Carl Zeiss Smt Gmbh Force actuator
DE102012218220A1 (de) * 2012-10-05 2013-11-14 Carl Zeiss Smt Gmbh Projektionsbelichtungsanlage mit Untersetzungskinematik
WO2018133969A1 (de) * 2017-01-17 2018-07-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Optische anordnung, insbesondere lithographiesystem

Families Citing this family (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7740363B2 (en) 2002-12-23 2010-06-22 Bae Systems Plc Deformable-mirror holder
AU2003294125A1 (en) 2002-12-23 2004-07-14 Bae Systems Plc Deformable mirror
WO2004057406A2 (en) 2002-12-23 2004-07-08 Bae Systems Plc Deformable-mirror cooling
EP1695148B1 (de) * 2003-11-24 2015-10-28 Carl Zeiss SMT GmbH Immersionsobjektiv
US7633691B2 (en) * 2004-06-07 2009-12-15 Raytheon Company Optical mounting for high-g environment
WO2006000352A1 (de) 2004-06-29 2006-01-05 Carl Zeiss Smt Ag Positioniereinheit und vorrichtung zur justage für ein optisches element
CN100555696C (zh) * 2005-02-15 2009-10-28 诺基亚公司 用于微移动的压电致动器元件
WO2006119970A2 (en) * 2005-05-09 2006-11-16 Carl Zeiss Smt Ag Assembly for adjusting an optical element
DE102005031084A1 (de) * 2005-06-28 2007-01-04 Carl Zeiss Smt Ag Mikrolithografisches Belichtungsverfahren sowie Projektionsbelichtungsanlage zur Durchführung des Verfahrens
TWI372271B (en) * 2005-09-13 2012-09-11 Zeiss Carl Smt Gmbh Optical element unit, optical element holder, method of manufacturing an optical element holder, optical element module, optical exposure apparatus, and method of manufacturing a semiconductor device
JPWO2007132862A1 (ja) * 2006-05-16 2009-09-24 株式会社ニコン 投影光学系、露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法
US7372633B2 (en) * 2006-07-18 2008-05-13 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus, aberration correction device and device manufacturing method
US8027096B2 (en) 2006-12-15 2011-09-27 Hand Held Products, Inc. Focus module and components with actuator polymer control
US7813047B2 (en) 2006-12-15 2010-10-12 Hand Held Products, Inc. Apparatus and method comprising deformable lens element
DE102007027200A1 (de) * 2007-06-13 2008-12-18 Carl Zeiss Smt Ag Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie
DE102009015295A1 (de) 2008-05-29 2009-12-03 Carl Zeiss Smt Ag Optische Baugruppe
CN102906609B (zh) * 2010-05-21 2015-11-25 凯亚光电 用于定位光学组件的机构
US8139289B2 (en) * 2010-07-27 2012-03-20 Corning Incorporated Precision optical mount
KR20130024301A (ko) * 2011-08-31 2013-03-08 엘지이노텍 주식회사 카메라 모듈
US9784939B2 (en) * 2014-02-03 2017-10-10 Robert S. Hodge Optical retaining device
CN106547069B (zh) * 2015-09-17 2019-07-23 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种可动镜片轴向调整机构及调整方法
CN105739248B (zh) * 2016-04-01 2018-01-09 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机
US10095089B2 (en) * 2016-05-17 2018-10-09 Raytheon Company Lens mount assembly
US10895711B2 (en) 2017-06-28 2021-01-19 Corning Incorporated Polymer-free compliant optical member support
KR20200043767A (ko) 2018-10-18 2020-04-28 삼성전자주식회사 Euv 노광 장치와 노광 방법, 및 그 노광 방법을 포함한 반도체 소자 제조 방법
WO2023241813A1 (de) * 2022-06-17 2023-12-21 Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh Vorrichtung zum korrigieren eines astigmatismus eines laserstrahls

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4733945A (en) * 1986-01-15 1988-03-29 The Perkin-Elmer Corporation Precision lens mounting
US4778252A (en) * 1987-02-27 1988-10-18 Newport Corporation Self-centering holder for objects of various sizes
US4993823A (en) * 1989-06-29 1991-02-19 Eastman Kodak Company Method for correction of distortions of an imaging device
US5592251A (en) * 1993-06-08 1997-01-07 Nikon Corporation Method and apparatus for preventing image deflection in an optical system
JP3894509B2 (ja) * 1995-08-07 2007-03-22 キヤノン株式会社 光学装置、露光装置およびデバイス製造方法
DE19825716A1 (de) 1998-06-09 1999-12-16 Zeiss Carl Fa Baugruppe aus optischem Element und Fassung
DE19827603A1 (de) 1998-06-20 1999-12-23 Zeiss Carl Fa Optisches System, insbesondere Projektions-Belichtungsanlage der Mikrolithographie
DE19859634A1 (de) 1998-12-23 2000-06-29 Zeiss Carl Fa Optisches System, insbesondere Projektionsbelichtungsanlage der Mikrolithographie
DE19901295A1 (de) 1999-01-15 2000-07-20 Zeiss Carl Fa Optische Abbildungsvorrichtung, insbesondere Objektiv, mit wenigstens einem optischen Element
DE19904152A1 (de) 1999-02-03 2000-08-10 Zeiss Carl Fa Baugruppe aus einem optischen Element und einer Fassung
DE19908554A1 (de) 1999-02-27 2000-08-31 Zeiss Carl Fa Verstellbare Baugruppe
JP4809987B2 (ja) 2000-03-30 2011-11-09 キヤノン株式会社 光学要素の支持構造、それを用いた露光装置及び半導体デバイスの製造方法
KR100714927B1 (ko) * 2000-04-25 2007-05-07 에이에스엠엘 유에스, 인크. 광학 시스템에서의 렌즈의 정밀 위치 설정 및 정렬을 위한장치, 시스템 및 방법
DE10030005A1 (de) 2000-06-17 2001-12-20 Zeiss Carl Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie
DE10042844C1 (de) * 2000-08-17 2002-04-04 Jenoptik Jena Gmbh Radial justierbare Linsenfassung
DE10051706A1 (de) * 2000-10-18 2002-05-02 Zeiss Carl Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes
DE10053899A1 (de) 2000-10-31 2002-05-08 Zeiss Carl Vorrichtung zur Lagerung eines optischen Elementes
DE10140608A1 (de) 2001-08-18 2003-03-06 Zeiss Carl Vorrichtung zur Justage eines optischen Elements
JP4174262B2 (ja) 2002-08-09 2008-10-29 キヤノン株式会社 光学要素の支持構造、光学系、光学系の調整方法、露光装置、露光方法、半導体デバイス製造方法
JP3805323B2 (ja) 2003-05-21 2006-08-02 キヤノン株式会社 露光装置、収差低減方法及び光学部材調整機構
US6816325B1 (en) 2003-09-11 2004-11-09 Carl Zeiss Smt Ag Mounting apparatus for an optical element

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7457059B2 (en) 2001-08-18 2008-11-25 Carl Zeiss Smt Ag Adjustment arrangement of an optical element
US7656595B2 (en) 2001-08-18 2010-02-02 Carl Zeiss Smt Ag Adjustment arrangement of an optical element
WO2004088383A1 (en) * 2003-03-28 2004-10-14 Bausch & Lomb Incorporated Adjustable lens mount
DE102004018659A1 (de) * 2004-04-13 2005-11-03 Carl Zeiss Smt Ag Abschlussmodul für eine optische Anordnung
US7369332B2 (en) 2004-04-13 2008-05-06 Carl Zeiss Smt Gmbh Closing module for an optical arrangement
US7830611B2 (en) 2005-07-25 2010-11-09 Carl Zeiss Smt Ag Projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus
US7990622B2 (en) 2005-07-25 2011-08-02 Carl Zeiss Smt Gmbh Projection objective of a microlithographic projection exposure apparatus
DE102005057860A1 (de) * 2005-12-03 2007-06-06 Carl Zeiss Smt Ag Objektiv, insbesondere Projektionsobjektiv für die Halbleiterlithographie
DE102007026753B4 (de) * 2006-10-16 2009-11-26 Christof Burkart Fassung für ein optisches Element bei Halbleiterobjektiven
US8528461B2 (en) 2007-08-24 2013-09-10 Carl Zeiss Smt Gmbh Force actuator
DE102007045975A1 (de) * 2007-09-25 2009-04-09 Carl Zeiss Smt Ag Optische Einrichtung mit einstellbarer Kraftwirkung auf ein optisches Modul
DE102008032853A1 (de) * 2008-07-14 2010-01-21 Carl Zeiss Smt Ag Optische Einrichtung mit einem deformierbaren optischen Element
US9217936B2 (en) 2008-07-14 2015-12-22 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical device having a deformable optical element
US9798243B2 (en) 2008-07-14 2017-10-24 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical device having a deformable optical element
DE102009054549A1 (de) 2008-12-11 2010-06-17 Carl Zeiss Smt Ag Gravitationskompensation für optische Elemente in Projektionsbelichtungsanlagen
US8854603B2 (en) 2008-12-11 2014-10-07 Carl Zeiss Smt Gmbh Gravitation compensation for optical elements in projection exposure apparatuses
US9341807B2 (en) 2008-12-11 2016-05-17 Carl Zeiss Smt Gmbh Gravitation compensation for optical elements in projection exposure apparatuses
DE102012218220A1 (de) * 2012-10-05 2013-11-14 Carl Zeiss Smt Gmbh Projektionsbelichtungsanlage mit Untersetzungskinematik
WO2018133969A1 (de) * 2017-01-17 2018-07-26 Carl Zeiss Smt Gmbh Optische anordnung, insbesondere lithographiesystem
US10809636B2 (en) 2017-01-17 2020-10-20 Carl Zeiss Smt Gmbh Optical arrangement, in particular lithography system

Also Published As

Publication number Publication date
US7457059B2 (en) 2008-11-25
US20090009892A1 (en) 2009-01-08
US7193794B2 (en) 2007-03-20
US20070014038A1 (en) 2007-01-18
US20040174619A1 (en) 2004-09-09
WO2003016976A2 (de) 2003-02-27
US7656595B2 (en) 2010-02-02
WO2003016976A3 (de) 2003-11-20

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