CN100478734C - 电湿单元和制造电湿单元的方法 - Google Patents

Abstract

电湿单元(15)包括外壁(90)和内壁(80)，所述外壁(90)提供有在内壁(80)的相对的两个面上延伸的扩展部分(85，86)。单元还提供有用于体积膨胀的膜片(45)，以及通过电镀层(95)被密封。

Description

电湿单元和制造电湿单元的方法

技术领域

本发明涉及电湿单元，它包括配备有基片和至少一个侧壁的本体部分，该基片和侧壁合在一起规定了包含电湿流体的腔体，以及还包括被固定在本体部分的至少一个末端部分。

本发明还涉及制造包括配备有基片和侧壁的本体部分的电湿单元的方法，该基片和侧壁合在一起规定了包含第一和第二电湿流体的腔体。

背景技术

电湿单元是一个在其中光被两种不可互混的流体之间的弯月形液面折射的单元。两种流体中的一种流体是电绝缘的以及另一种流体是导电的。弯月形液面的形状在两个电极之间的电压的影响下是可变的，其中一个电极被连接到导电流体以及另一个电极被连接到本体的表面。这样的单元是已知的，它例如可被应用作透镜或显示器。在应用单元的情形下，存在着穿过本体部分的光路径。

这样的电湿单元例如是从WO-A 03/069380获知的。这项专利申请公开了一种透镜，其中至少一个侧壁的内表面由憎水性流体接触层所覆盖。当没有施加电压时，流体接触层相对于电绝缘流体的湿润度不同于流体接触层相对于导电流体的湿润度。在施加的电压的影响下湿润度发生改变。这导致在流体接触层与流体之间的接触线上弯月形液面的接触角的改变，由此弯月形液面的形状被调节。因此，弯月形液面的形状取决于所施加的电压。

由于电湿单元具有光学特性并包括流体，为达到单元的完全填充和在闭合单元后没有流体泄漏到单元外面而采取的适当的操作是第一重要的。在现有技术中公开的单元没有给出关于如何达到这样的完全填充和阻止流体泄漏的解决方案。

发明内容

所以，本发明的第一个目的是提供在开头段落中提到的那种电湿单元，它可以完全地被填充和在单元闭合后能防止流体泄漏。

本发明的第二个目的是提供在开头段落中提到的那种方法，它可以以工业上可行的方式达到完全地填充。

第一目的是这样达到的，其中本体部分的至少一个侧壁包括内壁和外壁，该末端部分的一部分是内壁的一部分，从而固定了末端部分和本体部分，以及该外壁配置有在内壁的第一面和在第一面的对面的第二面上延伸的扩展部分。

第二目的是在一种具有内壁和外壁的单元中达到的，所述外壁具有在内壁的两个相对的面上延伸的第一和第二扩展部分，该方法包括以下步骤；

-提供外壁和基片，形成腔体；

-用第一和第二电湿流体填充腔体；

-提供腔体的末端部分，以使得它在离基片的一个所需距离处被浸入到至少一个流体中，由部分基片和末端部分以及任选地一个中间衬垫形成内壁；以及

-把末端部分固定到本体部分，以使得外壁的第一扩展部分位于该末端部分的顶部。

本发明的解决方案是一种双壁单元。外壁提供稳定性和足够的密封，而内壁由被相继地组装的组成元件所构成。由于相继的组装和双壁，电湿流体可在该末端部分之前提供。结果，末端部分可被浸入到流体中，在实践中该流体具有最低密度。部分流体将流到末端部分的上面，但无论如何保持在外壁内。这种浸没导致所需要的完全填充。于是达到了完全的密封，因为外壁存在于内壁的对面。这样，封装的外壁只包括两种主要的材料，它们以良好的方式互相固定在一起。适当的组合是金属和玻璃。

基片可以是外壁的一部分，但优选地是一个分开的部分，它一部分是内壁的一部分。在基片的部分与末端部分之间可以存在衬垫。这是合适的但不是必须的。这样的衬垫的优点在于，它可以提供以任何所需的表面涂层，诸如上面提到的流体接触层。有利地，衬垫在它的底侧提供缝隙。这允许减小单元的高度。

对于在末端部分的顶部提供的第一扩展部分可以设想几个实施例。例如它可以是外壁的柔性的扩展部分。它替换地可以是通过沉积技术，可能是藉助于工具作用压力的沉积技术而设置的金属层。

在优选实施例中，第一扩展部分是夹持体，它作为一个分开的部件被组装到末端部分的顶部，并且它被同时或相继连接到外壁。这提供了有效的组装方法。可靠的连接可以以机械的和化学的这两种措施来实现，诸如锁定特性、附加的夹持、粘接层和密封层。有利地，可使用在所述表面上生长的一个联合和保护层。生长层以化学方法结合在表面。它具有相同的热膨胀系数，并且它对于在温度的影响下的非弹性和不可逆膨胀是不敏感的。生长层可以生长到所需厚度由此使缝隙和高度差别得到平滑。而且，这样的生长层是相当惰性的，特别是如果有氧化物存在(它可以是自然氧化物)。最后，生长层对于由任何电湿流体的冲击是不敏感的，并且没有引起分子扩散的开孔或多孔结构。通过这样的密封，特别是连同玻璃的基片和玻璃的末端部分一起，最终得到的单元是紧密地气密的。

特别适合的技术是电镀。这种技术具有优点：它可以通过把整个单元浸入镀槽而在整块级别上施加。而且这样的整个单元的浸入具有优点：生长层在整个外壁上和内壁的任一面的扩展部分上延伸。由此外壁的夹持特性被加强。

在再一个实施例中，与至少一个电湿流体接触的第一和第二电极被限定在腔体的相对两个面的基片和末端部分上。在电湿单元中需要至少两个电极，以便施加所需要的电压来设定弯月形液面的形状。这样的电极可以在弯月形液面的相对的两侧施加到内壁上。然而，在本实施例中，电极存在于末端部分和在基片上。这实际上允许使用金属封装，而不必对一个电极有绝缘的连接。

优选地，基片提供有小孔，在它的一端存在所述电极。电极既可以出现在面向弯月形液面的基片的表面上也可以在背离弯月形液面的相反的表面上。后者的改型是优选的，因为它在这里不需要用金属填充所述小孔：流体会填充小孔。而且，这种电极的制造可以与被使用于把外壁固定在基片上的金属带条的提供合在一起，从而提供充分的密封。

优选地，封装提供有一个体积膨胀部件。这样的膨胀部件例如从JP-A 2002/162506获知的。这个已知的封装包括特定的腔室，它出现在基片旁边，并用柔软的盖与单元分隔开。在单元中压力增加时，柔软盖可以变形或甚至伸出，以便形成弯曲的表面而延伸到所述腔室。本发明提供把这样的腔室放置在内壁与外壁之间的可能性。

体积膨胀部件的一个更优选的实施例是作为末端部分的一部分的柔软的膜片。这样，末端部分较大的部分(即，在光的路径上出现的部分)被移动。因此，可以补偿很大的体积增加。柔软的膜片特别地是环形的。末端部分因此被划分成外边缘、膜片、和内部部分。末端部分的标准位置在这里不需要是平的。正如将参照附图说明的，特别地，外边缘在夹持体的压力下被向下推。这更加导致加压的封装。虽然不是优选的，但不排除末端部分的外边缘部分包括与内部部分不同的另外的材料。

膜片较优选地由金属制成。这样的材料有效地能耐受流体。它具有附加的好处，即膜片可被用作为单元的一个电极。如果在夹持体与外壁之间的连接是通过电镀等等提供的，则膜片也将设置有金属层。一方面具有足够稳定度和另一方面具有足够的柔顺度的膜片层的适当的厚度约为5-30微米，以及更优选地在15与25微米之间。这也取决于膜片的材料。为了限制膜片的厚度，它可以设置有绝缘涂层。

基片和末端部分优选地是玻璃板。玻璃对于电湿流体是惰性的。它可以用诸如粉末喷射(blasting)那样的技术来处理，并且金属层可以附着到其上。如果需要，一个或两个玻璃板可以设置有涂覆和表面层，包括IR涂覆、UV-吸收涂覆、抗反射涂覆，并且还有透镜。这样的透镜可以用复制技术由表面层制成。对准特性可被包括在这样的复制制成的表面层中。这提供了单元与另外的透镜在底部和顶部面上的正确的对准。

如果本发明的单元被用作为透镜，则它与另外的透镜适当地组装以得到所需的路径。不排除两个电湿透镜是组件的部件；事实上，这提供变焦特性。然而，替换实施例是一个堆叠的电湿透镜。这种堆叠电湿透镜可以通过本发明的方法适当地制成。

在堆叠单元制造的第一实施例中，基片出现在堆叠单元结构的中部。然后在基片的一侧进行第一组装和填充，以及在结束第一面的组装和填充后，在相对的第二面上进行第二组装和填充。优选地，两个相对的末端部分都具有柔软的膜片以补偿体积膨胀。在这种具有扩展部分的结构中提供外壁以支撑在堆叠单元中间的基片。

在堆叠单元制造的第二实施例中，两个单元一个接一个地在外壁内被提供。第一单元的末端部分可以是第二单元的基片，但这不是必须的。最简单地，提供衬垫以代替夹持体。在这个可以通过电镀而很好地连接到外壁的衬垫上，相继提供第二单元的另一个基片和另外的元件。这样的结构还允许使电极位于基片中而各末端部分不需要互相耦合。

代替堆叠几个电湿单元，外壁可被用于一个电湿单元和另外的光学和或非光学元件的堆叠。除了分开的透镜和滤色镜以外，可以设想把图像传感器也这样来组装，利用任何衬垫等使其与电湿透镜分隔开所需距离。与图像传感器的这种集成可最有效地实现，其中连接垫被设置在与光学工作面相反的表面上。替换地，图像传感器可被组装在一个介入基片的顶部，它设置有通孔以便接触到与光学工作面相反的面。介入基片的使用本身在半导体封装的技术上是已知的。

本发明的方法的优点在于，它可以在晶片级别或整块级别上实现。外壁可以是诸如具有小孔的印刷电路板的平板的一部分。它只有在填充和封装步骤后才被分割成各个单独的封装。然而，即使单个地实行单元的制造，电镀步骤可以在镀槽中进行以允许同时电镀多个装置。

本发明还涉及在开头段落中提到的那种制造方法和单元，其中提供严密的密封。这是这样的达到的，即末端部分用金属层固定在本体部分上，该金属层同时施加到末端部分和接合部分的表面。如上所述，施加上金属层将导致气密的密封。如果金属层或其一部分是金属层的结构延伸到单元的两面，就可实现夹持。优选的施加方法是电镀，但不排除其它方法，诸如金属凝胶溶液沉积、溅射或化学汽相沉积、或这样的沉积方法的组合。金属层被合适地附着在末端部分的表面上和在本体部分的表面上的金属部件上。

该单元可被用作为在照相机、光学记录设备或任何其它光学设备中使用的透镜。该单元可以与另外的透镜一起组装，以便按需要得到光学路径，或甚至得到变焦透镜。替换地，该单元被用作为显示器，在这种情形下，只需要晶片或末端部分是光学透明的。单元还可被用作为传感器。

附图说明

参照附图将进一步阐述本发明的单元和方法的这些和其它方面，其中：

图1以示意性截面图显示本发明的单元，其中仅仅显示左面部分；

图2-7显示在单元中使用的末端部分的制造中相继各级的示意性截面图；

图8-16显示在单元的制造方法中相继各级的示意性截面图，在图上只显示单元的左面部分。

图17显示本发明的单元的第二实施例的示意性截面图。

具体实施方式

附图是示意的，不是按比例画出的。在不同的图上相同的标号是指相似的部件。

图1显示按照本发明的电湿单元15的实施例。在这个图1上，仅仅显示局部截面图，即，仅仅是单元15的左面部分。然而，单元15是对称结构的，这样，未显示的右面部分是左面部分的镜像。透镜包括流体腔室，具有第一流体51和第二流体52，第一和第二流体是不可互混的并通过弯月形液面14互相接触。第一流体51在本例中是硅油、烷烃、或另外的适用的电绝缘流体。第二流体52在本例中是包含盐溶液的水或其他合适的导电流体。腔室的各个面具有电绝缘层8和流体接触层10，例如聚对亚苯基二甲基。

按照这个实施例，本体部分17包括内壁80和外壁90，以及--在单元15的第二面112上--第二盖板6。内壁80包括电绝缘部件8，上面涂覆着流体接触层10。内壁80还包括末端部分4的一部分。这个末端部分(或第一盖板)4包括环形玻璃部件81，它经由可扩展的接合件45被连接到内侧部分。在优选实施例中，这个环形玻璃部件81和末端部分4的内侧部分用单个玻璃板制成，将参照图2到7作说明。内壁80还包括第二盖板6的末端61。这个第二盖板6提供有通孔62、电极2和金属化层63。在替换实施例中，板6可以用类似于和等同于单元15的第一面111的结构所替代，即，环形玻璃部件、可扩展的接合件和盖板。

内壁80的这三个部分--环形玻璃部件81、(也是环形的)绝缘部件8和末端61--被夹持在外壁90的凸起85与环形闭合部件86之间。环形闭合部件86在这里是金属片，但它可以是具有导电表面的任何物体。外壁90包括塑料或其它材料的内芯92，它具有金属化表面91。这个金属化表面91还包围第二盖板6的金属化层63。这样，提供了机械上稳定的连接。

内壁80和外壁90互相固定并固定在接合件45和末端部分4，以使得密封层95包围它。密封层95由适当的材料制成。可以使用本身作为保护涂覆层已知的橡胶、环氧树脂等的聚合物涂覆。然而，优选地，密封层95包含金属。这允许提供气密的封装，使空气、水或流体不易扩散。提供这种金属密封层95的特别优选的方法是电镀。这个方法可以例如在镀槽中在三维表面上实现。

图2到7以示意性截面图显示在基片200的制造方法中相继的步骤，该基片具有被用作为可膨胀的接合件46的集成的膜片210。图2显示基片200，具有第一表面201和相对的第二表面202。基片200在本例中是具有适当的厚度(例如约0.1mm)的玻璃板。

图3显示在两个表面201，202上施加上光致抗蚀剂材料205后的基片200。光致抗蚀剂材料本身在技术上是已知的。

图4显示对光致抗蚀剂材料205制作图案和显影后的基片200。在第一面201上制作图案导致小孔214。在第二面202上制作图案导致：还使得光致抗蚀剂材料205的表面215具有三维结构。这个表面215在本例中是波浪的形式。这种表面结构可以通过锻压或另一个种机械变形的方式来提供。替换地，可使用先进的光刻技术。在另一个实施例中，使用模压技术来提供具有想要的形状的光致抗蚀剂层205。正如将会看到的，在这种情形下不需要特定的光致抗蚀剂材料。

图5显示在施加上膜片层225后的基片200。膜片层例如包括具有一定弹性的金属，不过任何其它材料也是适用的，只要它与光致抗蚀剂层205是兼容的。许多金属原来是具有足够的柔软性，如果以薄层形式应用的话。例子包括金、铜、镍、铝以及它们的适当的合金。金属层可以用适当的沉积技术(诸如溅射、化学汽相沉积和湿化学技术)而被施加上。在本例中，膜片层225被显示为做成图案的，但这不是必须的。

图6显示在第一面201上通过有图案的光致抗蚀剂材料205被制作成图案后的基片200。在玻璃板200的情形下，可以有利地应用粉末喷射技术，然而，不排除诸如蚀刻的任何其它技术。

图7显示在去除光致抗蚀剂材料205后的基片200，和得到具有集成的膜片220的基片200。正如将会看到的，基片200可以在横向上延伸。膜片220可以具有适当的形状。特别优选地是环形。基片可包括多个膜片，并适合于在另一个步骤中进行晶片级处理，或被分隔开。这样的分开步骤可以在光致抗蚀剂材料205去除之前施加。虽然这里未示出，但不排除基片包括在它的第一或第二面201，202上的另外的层。如果半导体基片被用作为基片200，则可以在其上规定半导体元件，诸如二极管和晶体管或沟槽电容器。

图8到16显示电湿单元15的制造方法的示意性截面图。图上显示图1的实施例的制造，但在本发明的范围内修改方案和替换例是可能的。

图8显示组装时的第一步骤。这里，玻璃基片6以环形部件90形式提供。环形部件90用作为外壁，以及提供有导电表面。虽然允许，但不一定必须全部表面是导电的。部件90提供有扩展部分85。它存在于基片6的第一面112上，并与基片6的粘接层63接触。粘接层63在这里是诸如铜那样的金属。电极2存在在基片6的同一个第一面112上。这个电极2覆盖基片6的小孔62。小孔62可以用导电材料填充，但在本例中不是这种情形。例如与外壁90相反，孔径62不是环形的而只局部地被提供。可以使用另外的材料而不用玻璃。在单元不是透镜的情形下，基片不需要是光学透明的。为了保持基片6与外壁固定在一起，可以使用例如粘接层。

图9显示在组装时第二步骤以后的结果。这里，基片6和外壁90互相与金属层91相连。这个金属层91是通过在镀槽中电镀而被适当提供的。金属层91沿外壁90延伸，以及被连接到基片的粘接层63。连接不单存在于基片的第一面112，而且也存在于侧面115。在这里显示了但在另外的图上没有显示的是：电极2还提供有电镀层。电极2的位置被选择为使得在电极与外壁之间没有形成桥。可在电极2提供绝缘涂层，以避免它加厚。

图10显示在导电流体52施加到外壁90和基片6的第二面113后的结果。在本例中，流体52是盐的水溶液。也可以使用酒精等等作为另外的溶剂。流体延伸到孔径62，由此造成与电极2接触。电极2同时用作为单元的外壳。

图11显示在提供电绝缘流体51后的结果。这是一种油例如烷烃或硅油。从它的较低的密度看来，它在导电流体51后被提供。所显示的弯月形液面的形状以及到基片6的第二面113的附着纯粹是示意性的，不一定相应于任何物理效果。

图12显示在插入衬垫8后的结果。在这种情形下，这是环形电绝缘部件8，它具有聚对亚苯基二甲基的流体接触层10。衬垫8具有表面9，它可以具有经修改的表面结构或层以用于适当地粘接到外壁90的电镀层91。这种表面结构或层可以是任何化学类型的，但也可以是机械的，诸如锁定特性。另外，衬垫8提供有缝隙64。这个缝隙64具有第一个优点：电极2可以在这个衬垫8的下面提供。因此，电极2位于光路径的外面，这减小单元的直径。缝隙的第二优点是在导电流体52与电绝缘流体51之间的弯月形液面的角度的修改。结果，单元的最小厚度被减小。衬垫与基片的外边缘61合在一起形成内壁的一部分。

图13显示在第六制造步骤以后的单元15。这个步骤牵涉到末端部分4的组装。末端部分4包括内部部分、膜片45和外部部分81。在末端部分4的第一面111提供压力工具70。优选地，在实际组装之前，末端部分4在它的第二面114上提供有电绝缘流体的层。这保证在组装期间不形成气泡。末端部分4在组装期间浸在流体51中。结果，多余的流体层55在末端部分的第一面上形成。电绝缘层51能够从第二面114流到末端部分4的第一面111，因为在外部部分81与外壁90之间留有窄的通道。

图14显示在末端部分4的外部部分81被固定在本体部分后的单元15。这个本体部分实际上包括衬垫8和外壁90。这是通过插入夹持体86而实现的。这个夹持体把外部部分81向下夹持和/或放置到衬垫8。结果，膜片45被放置在稍微弯曲的位置。夹持体具有与外壁90的电镀表面层91相接触的表面。优选地，它提供有一个或多个锁定特性。如有需要，它可被设计成延伸到在外部部分81与外壁90之间的通道89。在这种操作中，内壁80被形成，它由粘接层63、基片6的外部部分61、衬垫8、末端部分4的外部部分81和夹持体86组成。

图15显示在工具70和电绝缘流体51的多余部分55被去除后的单元15。去除步骤后面进行清洁步骤，这样，夹持体86的和膜片45的表面足够干净，可用于以后的步骤。

图16显示在制造中最后的重要的步骤后的单元15。在这个步骤中，在夹持体86与外壁90之间的连接通过供应密封层95而被加强。密封层95优选地通过在适当的镀槽中电镀提供。替换地，它可以是本身在技术上已知的任何其它保护层，诸如基于环氧树脂的层。密封层95在本例中延伸到膜片45，但这并不是重要的。优选地，密封层95以适当的厚度被提供，以便填充任何拐角和提供平滑的外表面。密封层95在本例中从末端部分的第一面111延伸到基片的第一面112。这是有利的：因为它也具有夹持特性，以及把外壁90与它的延伸部分85，86合在一起。

图17显示本发明的单元的第二实施例的示意性截面图。在本实施例中没有显示用于覆盖外壁80的延伸部分85的经电镀的密封层。在本实施例中，外壁的核心92是一个金属盘。它固有地包括凸起85。具有通孔62的第二盖板6、本体部件8和第一盖板4在这里以参照图8到16描述的方式被组装。本体部件8通常作为一个电极而工作，并且它例如被连接到用作为触点的盘92。

第一盖板4在这里是一个连续的板，它被选择成足够薄，以便在应力下可弯曲，在本例中，使用玻璃板。在本体部件8与第一盖板4之间有腔体41。在流体51，52的至少一个膨胀的情形下(尤其是在温度上升时)第一盖板4将弯曲，以便增大单元的体积。在流体51，52的至少一个收缩下，第一盖板将弯曲，以便缩小单元的体积。由于电绝缘流体51优选地是油，它比起水溶液的第二流体52具有更大的热膨胀系数，因此优选地使可弯曲的第一盖板4存在于电绝缘流体51的面上。

虽然这里未示出，但使用电镀的密封层将得到非常良好的结果。不排除这个电镀的密封层能够应用到包含流体的单元的其它结构，以及不是所有的应用都需要具有内壁80和外壁90与扩展部分85，86的单元。还可以看到，在第一和第二面111，112上延伸的外壁80的扩展部分85，86不是分开的元件，而是部件的凸起或是生长的或沉积的连接物。具体地，经电镀的连接物可以和这样的扩展部分86一样有效。

Claims (15)

1.一种电湿单元，包括配备有基片和至少一个侧壁的本体部分，该基片和侧壁合在一起规定了包含电湿流体的腔体，以及还包括被固定在本体部分的至少一个末端部分，其中本体部分的至少一个侧壁包括内壁和外壁，该末端部分的一部分是内壁的一部分，从而固定了末端部分和本体部分，以及该外壁配置有在内壁的第一面上和在第一面的对面的第二面上延伸的扩展部分，其中在外壁上以及在内壁任一侧上的两个扩展部分上提供金属层，其中金属层从基片延伸到至少一个末端部分，其中所述基片和所述至少一个末端部分由玻璃制成。

2.如在权利要求1中要求的电湿单元，其中内壁包括基片的一部分。

3.如在权利要求2中要求的电湿单元，其中内壁还包括在基片的所述部分与末端部分的所述部分之间的电绝缘材料的衬垫。

4.如在权利要求1中要求的电湿单元，其中在内壁的第一面上延伸的外壁的扩展部分是固定在外壁上的夹持体。

5.如在权利要求4中要求的电湿单元，其中夹持体藉助于在扩展部分和外壁上生长的金属层而固定在外壁上。

6.如在权利要求1中要求的电湿单元，其中与至少一个电湿流体接触的第一和第二电极被限定在腔体的相对两个面的基片和末端部分上。

7.如在权利要求6中要求的电湿单元，其中基片提供有小孔，在它的末端处存在所述电极。

8.如在权利要求1中要求的电湿单元，其中末端部分包括柔顺的膜片，它允许封闭腔体的体积膨胀。

9.如在权利要求2中要求的电湿单元，其中在内壁的第二面上的扩展部分通过在两个面上生长的金属层而固定在基片上。

10.一种制造包括配备有一个基片和一个具有内壁与外壁的侧壁的本体部分的电湿单元的方法，所述外壁提供有在内壁的两个相对的面上延伸的第一和第二扩展部分，该基片和侧壁合在一起限定了包含第一和第二电湿流体的腔体，该方法包括以下步骤；

-提供由玻璃制成的外壁和基片，从而构成腔体；

-用第一和第二电湿流体填充腔体；

-在腔体中提供由玻璃制成的末端部分，以使得它在离基片的一个所需距离处被浸在至少一个流体中，由部分基片和末端部分以及任选地中间衬垫形成该内壁；

-把末端部分固定在本体部分，以使得外壁的第一扩展部分位于该末端部分的顶部；

-其中在外壁上以及在内壁任一侧上的两个扩展部分上提供金属层，其中金属层从基片延伸到至少一个末端部分。

11.如在权利要求10中要求的方法，其中扩展部分是一个分开的夹持体，它只有在被放置在末端部分后才被连接到外壁。

12.如在权利要求11中要求的方法，其中夹持体和外壁与在它们的表面上生长的金属层相连接。

13.一种包含按照权利要求1到9的任一项的电湿单元的图像摄取装置或图像传感器。

14.一种包括按照权利要求1到9的任一项的电湿单元的光学扫描装置。

15.一种包含按照权利要求1到9的任一项的电湿单元的显示装置。

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